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エイチ・ティー・エルのALD装置

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株式会社エイチ・ティー・エル

卓上型サーマル式/プラズマ支援 原子層堆積装置 (ALD/PEALD) GEMStar XT-S/DP™

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テーブルトップのコンパクトサイズながら原子レベルレイヤーの成膜が可能。直径200mm、高さ約25mmまでの構造物、カーボンナノチューブ (...


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