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三弘エマテックのALD装置

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三弘エマテック株式会社

原子層堆積装置 ALDシリーズ

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ALD (Atomic Layer Deposition) とは原子層堆積法という単原子層を1サイクルで成膜する手法で、サイクルを操り返すことにより薄膜を形成します。原子層レベル...


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