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DINOVACのALD装置

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株式会社DINOVAC

立体物に成膜可能 立体物対応実験用プラズマCVD装置

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■用途・特徴 ・立体物に成膜可能な実験用プラズマCVD装置 ・対応可能膜種:DLC、アモルファスSiC等 ・基材加熱機構付き (最高設定温度...




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