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昭和真空のALD装置

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株式会社昭和真空

原子層堆積装置 ALD Series

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■複雑な形状の基板への成膜に最適 ALD (AtomicLayerDeposition) 法は従来のCVD,PVDに比べ「ピンホールフリー」、「段差被覆性」、「精密...


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