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■優れた耐食性 主要材質にはCFRETFE (カーボン繊維強化ETFE) をはじめ、ハイグレードな材料を数多く使用しています。 ■セルフラジエー...
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■異常運転に対する耐力向上 ノンコンタクト構造とセルフラジエーション構造の採用により空運転やエアー巻き込み運転時の耐力が大幅に向...
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■ノンコンタクトシステム 全機種に空運転対応構造を採用。空運転時でもマグネットキャンとリアスラストが接触しない構造になっているた...
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■優れた耐食性 接液部の主要材質には、フッ素樹脂とファインセラミックスを使用。強酸・強アルカリをはじめ、ほとんどのケミカル液を取...
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■長寿命 ポンプ室には接触により消耗する部品がありません。通常の運転では消耗部品はなく、ポンプの寿命を大幅に伸ばします。 ■ノンパ...
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■高精度 フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注します。レジスト滴下量の最適化のため、1ショット当たりの分注精度を高め、...
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■分注性能の向上 吐出量を1shot当り1mLとし、従来に比べ大幅に分注性能が向上しました。必要時に必要最小量を注入することで、ウェハー...
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■シールレス構造 GMシリーズはマグネット駆動方式のシールレス構造。液漏れや空気との接触を厳格に制限される薬液用として活躍します。 ...
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■シールレス耐食ギヤポンプ 接液部には一切の金属材料を使用しないノンメタル構造と液漏れのないマグネット駆動方式により、酸・アルカ...
イワキのケミカルポンプ16製品中の注目ランキング
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