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8 点の製品
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■高精度 フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注します。レジスト滴下量の最適化のため、1ショット当たりの分注精度を高め、...
株式会社イワキ
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■分注性能の向上 吐出量を1shot当り1mLとし、従来に比べ大幅に分注性能が向上しました。必要時に必要最小量を注入することで、ウェハー...
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■半導体専用設計 TCT型は、半導体用に設計されたフッ素樹脂製のエアー駆動ダイヤフラムポンプです。エアー駆動方式のメリットと多彩な機...
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■シールレス構造 GMシリーズはマグネット駆動方式のシールレス構造。液漏れや空気との接触を厳格に制限される薬液用として活躍します。 ...
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■無脈動 ケミカルギヤポンプGM-J型は、バルブレス構造に加え、ポンプ室内のガスを起動と共に強制的に排出する自動ガス抜き回路を装備し...
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■シールレス耐食ギヤポンプ 接液部には一切の金属材料を使用しないノンメタル構造と液漏れのないマグネット駆動方式により、酸・アルカ...
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化学液や海水などの移送に最適な高耐食のPPCF材質を採用しているため、錆の発生は一切ありません。小型軽量で持ち運びやすく、メンテナ...
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■追従性の良い安定した制御 ・電磁流量計とPFCコントローラを用いた実流量フィードバック制御方式のため、追従性の良い安定した流量制御...
イワキのケミカルポンプ8製品中の注目ランキング
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