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CKDの真空バルブ

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3 点の製品

CKD株式会社

高真空用機器 高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ

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CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです。 ■業種 半導体製造工程 (前...


CKD株式会社

流体制御機器 高真空用電磁弁 HVB

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■概要 シール力が高く、真空保持力が強い高真空対応の直動式電磁弁です。 ■高真空対応 真空漏れ量1.0×10^-9Pa・㎥/s以下、高真空システムに対応。 ■軽量・...


CKD株式会社

高真空・特殊ガス用機器 真空圧力制御システム IAVB

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■概要 従来の高真空バルブの信頼性はそのままに、多彩なプロセスを実現する圧力制御を可能にしました。 ■スロー排気制御が可能 一般的なON/OFF真空弁や二段...


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