スピンドライヤーとは
スピンドライヤーとは、主に半導体ウェハーや電子部品、精密機械の部品などの洗浄後に使用される、高速回転による乾燥装置です。
遠心力を利用して水滴を効率的に飛ばし、熱風やイオンエアとの組み合わせで短時間かつ均一な乾燥を実現します。洗浄後の水分を残さず除去することで、微粒子や水跡の発生を防ぎ、製品の品質を向上させる役割を担います。
本体はステンレスや樹脂素材で構成されており、耐薬品性・耐久性に優れています。クリーンルーム対応モデルも多く、半導体や電子部品の製造工程において欠かせない存在です。さらに自動搬送システムとの連携にも対応しており、生産ラインの効率化・自動化をサポートします。高精度な乾燥性能と安定した動作が求められる分野で活躍し、信頼性の高い乾燥プロセスを実現します。
スピンドライヤーの使用用途
スピンドライヤーは、洗浄後の乾燥工程において、水分除去と清浄度の維持を目的として幅広い分野で利用されています。特に微細な加工品や精密部品など、水滴の残留が品質不良につながる現場で効果を発揮します。
1. 半導体ウェハーの乾燥
半導体の製造工程において、ウェハー洗浄後の水分を遠心力で効率的に除去します。表面の微粒子付着を防ぎ、歩留まりの向上に寄与します。クリーンルーム対応タイプでは静電気の防止機能を備えたモデルも採用されています。
2. 電子部品・ガラス基板の乾燥
電子基板やガラス部材の乾燥にも使用され、精密部品の水跡防止や表面処理後の仕上げ工程に適しています。繊細な構造を損なわず、安定した乾燥が可能です。
3. メッキ・表面処理後の乾燥
メッキや化学処理を施した金属部品の乾燥に使用されます。乾燥ムラを防ぎ、光沢や膜品質を損なわずに仕上げることができます。耐薬品性を持つ仕様により、腐食リスクを低減します。
4. 光学部品や精密機構の仕上げ乾燥
カメラレンズや光学フィルターなど、微細な水滴が品質に影響する製品の乾燥に用いられます。低振動の設計により、デリケートな部品でも安全に処理可能です。
5. 研究・開発用途での試験乾燥
研究機関や試作工程において、小ロット部品の乾燥試験にも利用されます。乾燥条件の制御が容易で、試験データの再現性を確保できます。