エトキシシランとは
エトキシシランとは、ケイ素にエトキシ基が結合した化合物の総称であり、アルコキシドの一種です。代表的なエトキシシラン化合物として、ケイ素にエトキシ基が4つ結合した形のテトラエトキシシラン、通称オルトケイ酸テトラエチル(TEOS)が挙げられます。
テトラエトキシシランはGHS分類において皮膚腐食性/刺激性、眼刺激性、特定標的臓器・全身毒性に分類されています。
テトラエトキシシランの法規制について、労働安全衛生法において名称等を通知すべき有害物、危険物・引火性の物に、消防法において第4類第二石非水に指定されています。
エトキシシランの使用用途
エトキシシランの使用用途として、保護膜、耐エッチング膜、配線層間の絶縁および空間充填、高誘電体膜などが挙げられます。エトキシシランはアルコキシドの一種であり、他の有機金属と比較して発火しづらく、揮発性の物質が多いため、このような用途に適した化合物といえます。
代表的なエトキシシランであるテトラエトキシシランは、近年抗菌・除菌スプレーの添加物としても注目されています。テトラエトキシシランは抗菌成分と結合した形で用いられ、テトラエトキシシランが素材との接着成分として働くことで、抗菌成分が素材の表面を覆うようにデザインされています。エトキシシランの優れた接着能により、長時間の抗菌・除菌成分の持続が可能になります。