Was ist ein Atmosphärendruck-Plasmagerät?
Atmosphärendruck-Plasmageräte sind Anlagen, die Plasmaentladungen zur Entfernung von organischen Stoffen und Oxiden nutzen.
Sie zeichnen sich dadurch aus, dass sie nur aus Reaktionsgas zur Plasmaerzeugung und einer Stromversorgung bestehen und keinen Dekompressionstank benötigen. Da es in der Lage ist, organische Filme auf der Oberfläche von Polymermaterialien und Oxide auf Metalloberflächen zu entfernen, wird es nicht nur in der Industrie, sondern auch in der akademischen Forschung weit verbreitet eingesetzt. Es wurden auch kompakte Geräte entwickelt, die in verschiedenen Bereichen eingesetzt werden.
Sie werden insbesondere für die Sterilisation von medizinischen Instrumenten, die Sterilisation in Lebensmittelverarbeitungsbetrieben und die Oberflächenbehandlung bei der Halbleiterherstellung eingesetzt. Darüber hinaus werden auch Umweltfragen behandelt, und Atmosphärendruck-Plasmageräte werden zur Entwicklung von Technologien für die Reinigung von Abgasen und Abwässern eingesetzt.
Anwendungen von Atmosphärendruck-Plasmageräten
Atmosphärendruck-Plasmageräte können die Oberfläche von Harzen, Folien und polymeren Werkstoffen verändern. Die Oberflächenmodifizierung kann mit hoher Geschwindigkeit und ohne Beschädigung der Oberfläche durchgeführt werden.
Sie finden breite Anwendung bei der Herstellung von Halbleitern, elektronischen Bauteilen, Kunststoffen und Glasprodukten. Insbesondere die Oberflächenreinigung durch Reaktionen mit Plasma und die Veränderung der Zusammensetzung von Polymeroberflächen lassen eine Verbesserung der Hydrophilie erwarten.
Darüber hinaus kann die Haftfestigkeit von Materialien wie Polyethylen und Polypropylen durch Klebstoffe (auf Urethan- oder Epoxidbasis) erhöht werden. Aus diesem Grund werden Atmosphärendruck-Plasmageräte auch für Produkte eingesetzt, bei denen eine hohe Haftfestigkeit erforderlich ist, wie z. B. bei Automobilteilen und medizinischen Geräten.
Funktionsweise der Atmosphärendruck-Plasmageräte
Atmosphärendruck-Plasmageräte verwenden eine Hochfrequenz-Impulsstromversorgung zur Erzeugung einer Plasmaentladung, und die im Plasma vorhandenen aktiven Spezies wie Elektronen und Ionen werden zur Oberflächenmodifizierung und -reinigung verwendet.
Plasma ist der vierte Aggregatzustand der Materie und ein hochenergetischer Zustand, in dem Elektronen und verbleibende Ionen infolge von Ionisierungsphänomenen, bei denen Elektronen aus Atomen herausgeschleudert werden, miteinander vermischt werden, wobei die Gesamtladungsverteilung neutral bleibt.
In Atmosphärendruck-Plasmageräten bewirken die im Plasma vorhandenen aktiven Spezies chemische Reaktionen auf Oberflächen, die eine Oberflächenmodifizierung und -reinigung ermöglichen. Wenn beispielsweise Sauerstoffplasma erzeugt wird, verbindet es sich mit den Kohlenstoffatomen, aus denen das Harz besteht, und desorbiert sie als CO2 von der Oberfläche. Diese chemische Reaktion kann zur Reinigung und Modifizierung der Oberfläche von Harzen, Folien und polymeren Werkstoffen genutzt werden.
Atmosphärendruck-Plasmageräte werden auch bei der Herstellung von Halbleitern, elektronischen Bauteilen, Kunststoffen und Glasprodukten eingesetzt. Die Oberflächenreinigung und die Veränderung der Zusammensetzung von Polymeroberflächen durch Reaktionen mit dem Plasma sollen die Hydrophilie verbessern und die Haftfestigkeit erhöhen. Atmosphärendruck-Plasmageräte sind Niedertemperaturplasmen, die im Vergleich zu thermischen Plasmen, die sich in einem Hochtemperaturzustand befinden, Plasmen bei relativ niedrigen Temperaturen erzeugen können.
Arten von Atmosphärendruck-Plasmageräten
Es gibt drei Haupttypen von Atmosphärendruck-Plasmageräten: Koronaentladungs-Plasmageräte, Mikrowellen-Plasmageräte und Doba-Plasmageräte.
1. Koronaentladungs-Plasmageräte
Koronaentladungs-Plasmageräte basieren auf einem Plasma, das mit Hilfe einer Hochfrequenzstromversorgung erzeugt wird. Durch Anlegen einer Hochfrequenzspannung zwischen den Elektroden wird das Plasma entladen und die Oberfläche durch chemische Reaktion mit dem Reaktionsgas verändert oder gereinigt. Es zeichnet sich im Allgemeinen durch niedrige Temperaturen aus und ist für polymere Materialien wie Harze und Folien geeignet.
2. Mikrowellen-Plasmageräte
Mikrowellen-Plasmageräte nutzen Mikrowellen zur Erzeugung von Plasma. Durch Einfüllen eines Reaktionsgases und Anlegen eines hochfrequenten elektrischen Feldes werden die Mikrowellen vom Reaktionsgas absorbiert und es entsteht ein Plasma. Es kann ein Hochtemperaturplasma erzeugt werden, das für die hochauflösende Oberflächenmodifizierung und die Bildung dünner Schichten auf Metallen und Keramiken verwendet wird.
3. Doba-Plasmageräte
Diese Plasmageräte bestehen aus einer horizontalen Anordnung von Nadeln und Platten, die als Elektroden dienen. Die Platte hat kleine Löcher, durch die das Reaktionsgas strömt. Durch Anlegen einer Hochspannung zwischen Nadel und Platte wird an der Spitze der Nadel eine Koronaentladung erzeugt, und es entsteht ein Plasma. Es kann ein Niedertemperaturplasma erzeugt werden, das für die Behandlung von Zellen und lebendem Gewebe eingesetzt werden kann.