水素脱離分析装置とは
水素脱離分析装置(英語: hydrogen-sensitive thermal desorption spectroscopy system)は、試料を加熱した際に試料表面から脱離する水素を検出し、試料に含まれる水素量および水素吸着・脱離のメカニズムなどの情報が得られる装置です。
装置は主に真空チャンバ、試料加熱機構、排気システム、四重極質量分析計などから構成されています。
応用分野のひとつとして、半導体デバイスがあります。この分野では、水素は最も制御が難しい不純物とされ、検出の困難さからデバイス性能への影響はこれまで無視されてきました。
しかし、近年、薄膜トランジスタの動作不安定性、意図しないキャリアドーピングなどの原因として報告例があり、不純物水素の重要性が認識されはじめています。
デバイスのさらなる高品質化、次世代デバイス開発には高感度での水素検出が必要とされ、水素脱離分析装置はこの要望に応えることができます。また、他手法に比べて低コスト、簡便な装置構成という点で優位性があります。他の応用分野として、グラフェン等の先端薄膜材料が挙げられます。