Qu’est-ce qu’un microscope laser ?
La microscopie laser est un type de microscopie optique dans lequel un échantillon est observé en balayant un faisceau laser au-dessus d’une source lumineuse.
Aussi appelé microscope confocal à laser ou CLSM, ce type de microscope utilise aussi une optique confocale. Les microscopes laser ont une résolution spatiale élevée non seulement dans la direction horizontale (direction XY) mais aussi dans la direction de la hauteur (direction Z) : l’optique confocale peut exclure la lumière des surfaces non focales.
Par conséquent, en mesurant les images du microscope tout en les déplaçant dans la direction de la hauteur, il est également possible d’acquérir des images tridimensionnelles et entièrement focalisées.
Utilisations des microscopes laser
La microscopie laser utilisant la lumière, il n’est pas nécessaire de toucher l’échantillon. C’est pourquoi ces microscopes sont employés dans l’industrie pour observer la forme tridimensionnelle et le profil de la surface d’instruments de précision, tels que les semi-conducteurs et les composants électroniques. En sciences de la vie, ils permettent d’observer les cellules et les tissus biologiques marqués avec des substances fluorescentes.
En outre, certains fabricants personnalisent la platine de mesure du microscope laser, ce qui permet d’effectuer des mesures sur des échantillons de grande taille, tels que des écrans plats de grande dimension.
Principe de la microscopie laser
Les microscopes laser ressemblent aux configurations courantes des microscopes, telles que les lentilles et les miroirs, mais ils utilisent un laser comme source de lumière et sont conçus comme des optiques confocales. La lumière laser se caractérise par la longueur d’onde et la phase de la lumière émise qui sont uniformes, monochromatiques, directionnelles et linéaires.
Avec la lumière ordinaire, les chemins optiques ne sont pas alignés car les phases et les longueurs d’onde sont différentes. La lumière réfléchie produite lors de l’irradiation d’un échantillon se superpose à la lumière diffusée, ce qui rend difficile l’obtention d’une image claire. Dans un microscope laser, en revanche, un trou d’épingle est placé à l’endroit où la lumière réfléchie est focalisée après transmission à travers la lentille et réflexion sur l’échantillon. Cela élimine l’excès de lumière tel que la lumière diffusée. Il est ainsi possible d’obtenir des images nettes avec des contours clairs.
Il existe également deux méthodes pour obtenir des images bidimensionnelles avec un microscope laser : le déplacement de la platine et le déplacement du mécanisme laser. Les caractéristiques de chacune d’entre elles sont les suivantes.
- Méthode de déplacement de la platine
Une large zone peut être mesurée mais la taille de la platine est limitée et les grands échantillons ne sont pas mesurables.
Une large gamme de tailles d’échantillons peut être mesurée et les microstructures de surface peuvent également être mesurées.
- Méthode de déplacement du mécanisme laser
Permet de mesurer des échantillons de tailles et de microstructures de surface très diverses.
Méthode de balayage des microscopes laser
Il existe plusieurs méthodes de balayage avec un microscope laser. Par exemple, le balayage avec des miroirs galvanométriques implique le déplacement mécanique des miroirs, tandis que les scanners MEMS et les scanners résonnants sont parfois utilisés pour augmenter la vitesse.
La méthode du disque tournant est conçue pour les mesures à grande vitesse et consiste à faire briller un faisceau laser sur un disque garni d’un certain nombre de microlentilles et de réseaux de trous d’épingle, qui captent simultanément un certain nombre de réflexions lumineuses sur l’échantillon. Cette méthode permet d’obtenir un grand nombre d’informations à la fois. Elle nécessite toutefois un laser de forte puissance et d’intensité suffisante pour se propager dans une certaine mesure.
Autres informations sur la microscopie laser
1. Différences entre la microscopie laser et la microscopie électronique
Outre la microscopie laser, la microscopie électronique est un autre type de microscope à fort grossissement, mais les principes de ces instruments ne sont pas identiques. Les microscopes laser utilisent la lumière, tandis que les microscopes électroniques utilisent des faisceaux d’électrons, et le grossissement, l’équipement et les techniques de mesure sont très différents.
Les électrons sont très courts par rapport à la lumière visible lorsqu’ils sont convertis en longueur d’onde, de sorte que la résolution de la microscopie électronique est très élevée et que la microscopie électronique à balayage (MEB) peut observer des structures jusqu’à quelques nanomètres. Les microscopes laser, en revanche, ne peuvent pas observer les structures dans des régions plus courtes que la longueur d’onde et ont une résolution de quelques centaines de nanomètres.
L’équipement utilisé pour la microscopie laser et la microscopie électronique est très différent, la microscopie électronique utilisant un faisceau d’électrons et nécessitant donc des mesures sous vide. Il existe également des limitations, comme le fait que lorsque des matériaux très isolants sont mesurés par microscopie électronique, le faisceau d’électrons peut provoquer une accumulation de charges à la surface et déformer l’image, de sorte qu’il faut prendre soin de déterminer les propriétés physiques spécifiques de l’échantillon.
De plus, en tant que technique de mesure, la microscopie électronique requiert des compétences techniques pour découper la surface et optimiser les conditions d’observation. En revanche, les microscopes laser peuvent être utilisés de manière plus universelle que les microscopes électroniques car il n’y a pas d’accumulation de charges et les découpes de surface ne nécessitent pas de précision.
2. Mesure de la rugosité de surface à l’aide de microscopes laser
Les microscopes laser confocaux sont capables de mesurer la rugosité des surfaces des échantillons sans contact. La microscopie à force atomique est une méthode alternative pour mesurer la rugosité des surfaces des échantillons. Toutefois, la microscopie laser confocale présente l’avantage d’une mesure sans contact. En revanche, la résolution diffère de celle du microscope à force atomique, de sorte qu’il convient de choisir un instrument approprié en fonction de la rugosité de la surface de l’échantillon.