nettoyeur à plasma

Les nettoyeurs à plasma pulvérisent du plasma sur la surface de l’objet à nettoyer. Le plasma provoque alors une réaction chimique avec la substance à éliminer à la surface de l’objet, qui se transforme en une autre substance à nettoyer.

Les nettoyeurs à plasma sont particulièrement indispensables dans l’industrie des semi-conducteurs, où ils sont utilisés pour éliminer les résistances et les résidus de résistances sur les plaquettes. Ils sont également utilisés dans l’assemblage des circuits intégrés pour nettoyer et renforcer la liaison des fils.

Utilisations des nettoyeurs à plasma

Comme nous l’avons déjà mentionné, les nettoyeurs au plasma sont principalement utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour éliminer les substances organiques (résist) des plaquettes, etc.

• L’assemblage de circuits intégrés
  l’amélioration de la force de liaison des électrodes de base, etc.
• En rapport avec les matériaux
  Prétraitement des revêtements de matériaux polymères, etc.
• Mécatronique
  Traitement de nettoyage des pièces automobiles, etc.
• En rapport avec les écrans plats
  Amélioration de la force d’adhérence des panneaux LCD, etc.
• Ingénierie
  Collage de lentilles, prétraitement de revêtements, etc.

Principe des nettoyeurs à plasma

Les nettoyeurs au plasma nettoient en pulvérisant du plasma sur l’objet. Le plasma est un état dans lequel une substance est continuellement alimentée en énergie. Les molécules sont finalement séparées en cations et en électrons, qui sont ensuite pulvérisés sur l’objet à nettoyer.

La substance à plasmatiser dépend de la substance à éliminer par le processus de nettoyage, c’est pourquoi il existe de nombreux types différents, mais l’oxygène, l’argon et les chlorofluorocarbones sont souvent utilisés.

Par exemple, si vous souhaitez éliminer les matières organiques de la surface de l’objet à nettoyer, de l’oxygène est plasmatisé et pulvérisé sur l’objet. Le plasma étant très actif, les matières organiques présentes à la surface du matériau sont transformées en eau et en dioxyde de carbone, qui sont ensuite éliminés de l’objet à nettoyer.

S’il s’agit d’éliminer le suboxyde de cuivre sur des surfaces en cuivre, le nettoyage peut être effectué en pulvérisant de l’argon plasmatisé. Cela fait réagir le suboxyde de cuivre avec l’argon pour former du peroxyde de cuivre.