紫外線用対物レンズ (∞) UVシリーズ
ユニオン光学株式会社

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この製品について

■概要半導体産業の高集積度化が進むにつれ顕微鏡対物レンズの重要性が高まって来ています。ユニオン光学は独自に開発したレンズ設計技術と長年蓄積した光学測定技術により、高コントラスト・高分解能を兼ねそなえた対物レンズ・紫外領域専用対物レンズをシリーズ化しました。

作業性を重視した長作動距離対物レンズ・高性能対物レンズ、更に液晶基板の欠陥検査にはガラス厚補正型レンズ、紫外線観察・加工用にはユニオン光学独自のUV対物レンズなど各種低倍用から高倍用まで豊富にラインナップを取り揃えております。

■この商品について紫外線用対物レンズ、UVシリーズは365nm～600nmまで広範囲に使用が可能です。e線 (546nm) の可視覚でアライメントを行い、i線 (365nm) で観察することを主目的に開発されました。紫外線の使用により高分解能・非熱加工が可能です。

■特徴・e線 (546nm) でアライメントが可能。 (可視カメラで観察可能) 
・i線 (365nm) で観察が可能です。
・100Xでも作業性を重視したW.D.2.5mmを実現。
・同焦45mmの顕微鏡に搭載が可能。 (100Xのみ専用マウントが必要) 
・明視野観察用の無限遠補正対物レンズです。
・専用結像レンズが必要です