3～4インチ膜付きシリコンウェーハ
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この製品について

ウェーハへの膜付加工を行った製品を「膜付ウェーハ」と呼びます。ウェーハの成膜プロセスには、絶縁膜としての層間絶縁材料、導電材料としての金属膜、プロセス材料としてのレジストなど、また保護膜などが含まれます。

下記は当社保有のスパッタリングターゲットです。自由な組み合わせで膜付きウェーハが作成可能です。

■METALSAu、Al、Ag、B、C、Co、Cr、Cu、Fe、Ge、Hf、In、Ir、Mg、Mn、Mo、Nb、Ni、Pd、Pt、Rh、Ru、Si (N型) (1～50Ω･cm) 、Si (P型) (1～50Ω･cm) 、Si (N型) (高抵抗) (1000 Ω･cm以上) 、Si (N型) (高抵抗) (5000 Ω･cm以上) 、Sn、Ta、Ti、V、W、Y、Zn、Zr

■OXIDESAl2O3、AZO、BaTiO3、CeO2、CuO、Fe2O3、Ga2O3、Gd2O3、HfO2、In2O3、ITO、IZO、LiCoO2、LiMn2O4、LiNbO3、Li3PO4、MgO、Mn2O3、Nb2O5、NiO、PZT、RuO2、SiO、SiO2、SnO、SnO2、SrRuO3、SrTiO3、Ta2O5、TiO2、WO3、Y2O3、ZnO、ZrO2:Y2O3

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
3～4インチ膜付きシリコンウェーハ

取扱企業
株式会社豊港

カテゴリ

半導体製造

シリコンウェハ

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3～4インチ膜付きシリコンウェーハ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	SILICIDES	NITRIDES	CARBIDES	ALLOYS
	3～4インチ膜付きシリコンウェーハ	要見積もり	CoSi2、MoSi2.5、NiSi2、TaSi2、TiSi2、WSi2、WSi2.5、ZrSi2、CrSi2	AlN、BN、Mo2N、Si3N4、ZrN	SiC、TiC	Al-Cu、Al-Nd、Al-Sc、Al-Si、Al-Si-Cu、Al-Ti、Au-Sn、Cu-Ni、Co-Cr、Fe-Co、Ni-Cr、Ni-Fe、Ni-V、TiW