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この製品について

ウェーハへの膜付加工を行った製品を「膜付ウェーハ」と呼びます。ウェーハの成膜プロセスには、絶縁膜としての層間絶縁材料、導電材料としての金属膜、プロセス材料としてのレジストなど、また保護膜などが含まれます。 下記は当社保有のスパッタリングターゲットです。自由な組み合わせで膜付きウェーハが作成可能です。

■METALS

Au、Al、Ag、B、C、Co、Cr、Cu、Fe、Ge、Hf、In、Ir、Mg、Mn、Mo、Nb、Ni、Pd、Pt、Rh、Ru、Si (N型) (1～50Ω･cm) 、Si (P型) (1～50Ω･cm) 、Si (N型) (高抵抗) (1000 Ω･cm以上) 、Si (N型) (高抵抗) (5000 Ω･cm以上) 、Sn、Ta、Ti、V、W、Y、Zn、Zr

■OXIDES

Al2O3、AZO、BaTiO3、CeO2、CuO、Fe2O3、Ga2O3、Gd2O3、HfO2、In2O3、ITO、IZO、LiCoO2、LiMn2O4、LiNbO3、Li3PO4、MgO、Mn2O3、Nb2O5、NiO、PZT、RuO2、SiO、SiO2、SnO、SnO2、SrRuO3、SrTiO3、Ta2O5、TiO2、WO3、Y2O3、ZnO、ZrO2:Y2O3

  • シリーズ

    3～4インチ膜付きシリコンウェーハ

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3～4インチ膜付きシリコンウェーハ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) SILICIDES NITRIDES CARBIDES ALLOYS
3～4インチ膜付きシリコンウェーハ-品番-3～4インチ膜付きシリコンウェーハ

3～4インチ膜付きシリコンウェーハ

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CoSi2、MoSi2.5、NiSi2、TaSi2、TiSi2、WSi2、WSi2.5、ZrSi2、CrSi2

AlN、BN、Mo2N、Si3N4、ZrN

SiC、TiC

Al-Cu、Al-Nd、Al-Sc、Al-Si、Al-Si-Cu、Al-Ti、Au-Sn、Cu-Ni、Co-Cr、Fe-Co、Ni-Cr、Ni-Fe、Ni-V、TiW

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豊港化学は半導体材料、光学材料、希土類、金属材料およびリチウムイオン電池材料など関連製品を専門に取り扱う企業でございます。...

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