全てのカテゴリ

閲覧履歴

ICPプラズマソース COPRA-RS Copra
ICPプラズマソース COPRA-LS Copra (1E-1mbar)
ICPプラズマソース COPRA-LS Copra (1E-2mbar)
ICPプラズマソース COPRA-DN Copra (1E-2mbar)
ICPプラズマソース COPRA-LS Copra (1E-3mbar)
ICPプラズマソース COPRA-DN Copra (1E-3mbar)
ICPプラズマソース COPRA-IS Copra
ICPプラズマソース COPRA-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン


無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。ヨーロッパのほぼすべての装置メーカーで、そのPVDアシスト用、またはPECVD用のプラズマソースとして採用されています。

■特徴

・CCR社独自技術により、1m以上の大型プラズマソースの納入実績多数 ・CCR社独自技術により、蒸着、スパッタ、PECVDの各真空度に調整可能 ・ICP方式な為、チャンバー汚染リスクが低く、メンテナンス負荷が低い ・ICP方式な為、投入パワーに伴うイオンエナジーの変化が少なく基板ダメージが少ない。

■摘要1:スパッタ中の酸化、窒化アシスト

効果:メタルモード並みの成膜レートでリアクティブコーティング

■摘要2:スパッタ真空域でのPECVD

効果:スパッタ装置にPECVDを組み込み可能

■摘要3:PVD成膜前の、エッチング

効果:密着性の向上

■摘要4:PVD成膜中のArアシスト

効果:成膜層の高密度化 註1:PVDアシスト評価用ユニットのお貸出し相談可 註2:PECVDデモ成膜相談可

■プラズマ発生方式

ICP (誘導結合プラズマ:Inductively Coupled Plasma)

  • シリーズ

    ICPプラズマソース COPRA

この製品を共有する


80人以上が見ています


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

ICPプラズマソース COPRA 品番7件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜)
ICPプラズマソース COPRA-品番-RS Copra

RS Copra

要見積もり

1E-01

1E1Pa

PECVD

ICPプラズマソース COPRA-品番-LS Copra (1E-1mbar)

LS Copra (1E-1mbar)

要見積もり

1E-01

1E1Pa

PECVD

ICPプラズマソース COPRA-品番-LS Copra (1E-2mbar)

LS Copra (1E-2mbar)

要見積もり

1E-02

1Pa

スパッタ
PECVD

ICPプラズマソース COPRA-品番-DN Copra (1E-2mbar)

DN Copra (1E-2mbar)

要見積もり

1E-02

1Pa

スパッタ
PECVD

ICPプラズマソース COPRA-品番-LS Copra (1E-3mbar)

LS Copra (1E-3mbar)

要見積もり

1E-03

1E-1Pa

スパッタ
PECVD

ICPプラズマソース COPRA-品番-DN Copra (1E-3mbar)

DN Copra (1E-3mbar)

要見積もり

1E-03

1E-1Pa

スパッタ
PECVD

ICPプラズマソース COPRA-品番-IS Copra

IS Copra

要見積もり

1E-04

1E-2Pa

Eビーム
蒸着

スパッタリングコンポーネンツジャパンの取り扱い製品

スパッタリングコンポーネンツジャパンの製品をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

Copyright © 2024 Metoree