ICPプラズマソース COPRA
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
この製品について
ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。ヨーロッパのほぼすべての装置メーカーで、そのPVDアシスト用、またはPECVD用のプラズマソースとして採用されています。
■特徴
・CCR社独自技術により、1m以上の大型プラズマソースの納入実績多数 ・CCR社独自技術により、蒸着、スパッタ、PECVDの各真空度に調整可能 ・ICP方式な為、チャンバー汚染リスクが低く、メンテナンス負荷が低い ・ICP方式な為、投入パワーに伴うイオンエナジーの変化が少なく基板ダメージが少ない。■摘要1：スパッタ中の酸化、窒化アシスト
効果：メタルモード並みの成膜レートでリアクティブコーティング■摘要2：スパッタ真空域でのPECVD
効果：スパッタ装置にPECVDを組み込み可能■摘要3：PVD成膜前の、エッチング
効果：密着性の向上■摘要4：PVD成膜中のArアシスト
効果：成膜層の高密度化 註1：PVDアシスト評価用ユニットのお貸出し相談可 註2：PECVDデモ成膜相談可■プラズマ発生方式
ICP (誘導結合プラズマ：Inductively Coupled Plasma)-
シリーズ
ICPプラズマソース COPRA
ICPプラズマソース COPRA 品番7件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 真空度 (mbar) | 動作中心域 | プロセス |
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RS Copra |
要見積もり | 1E-01 | 1E1Pa | PECVD | |
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LS Copra (1E-1mbar) |
要見積もり | 1E-01 | 1E1Pa | PECVD | |
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LS Copra (1E-2mbar) |
要見積もり | 1E-02 | 1Pa |
スパッタ PECVD |
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DN Copra (1E-2mbar) |
要見積もり | 1E-02 | 1Pa |
スパッタ PECVD |
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LS Copra (1E-3mbar) |
要見積もり | 1E-03 | 1E-1Pa |
スパッタ PECVD |
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DN Copra (1E-3mbar) |
要見積もり | 1E-03 | 1E-1Pa |
スパッタ PECVD |
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IS Copra |
要見積もり | 1E-04 | 1E-2Pa |
Eビーム 蒸着 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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この商品の取り扱い会社情報
- 本社所在地: 千葉県