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シリーズ
ICPプラズマソース COPRA| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 真空度 (mbar) | 動作中心域 | プロセス | |
|---|---|---|---|---|---|---|
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RS Copra |
要見積もり |
1E-01 |
1E1Pa |
PECVD |
|
|
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LS Copra (1E-1mbar) |
要見積もり |
1E-01 |
1E1Pa |
PECVD |
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LS Copra (1E-2mbar) |
要見積もり |
1E-02 |
1Pa |
スパッタ |
|
|
|
DN Copra (1E-2mbar) |
要見積もり |
1E-02 |
1Pa |
スパッタ |
|
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|
LS Copra (1E-3mbar) |
要見積もり |
1E-03 |
1E-1Pa |
スパッタ |
|
|
|
DN Copra (1E-3mbar) |
要見積もり |
1E-03 |
1E-1Pa |
スパッタ |
|
|
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IS Copra |
要見積もり |
1E-04 |
1E-2Pa |
Eビーム |
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