PEMモニター EMICON SA
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
この製品について
■特徴
・SCI製ロータリーカソードで多数の実績 ・成膜レートを最大3倍に向上させる事も可能 (例：SiO2のリアクティブ成膜) ・200nmから1,100nmまでの波長を一つのセンサーで解析出来るため、ターゲットの種類、プロセスの種類毎にセンサーやフィルターを代える必要がない。 ・一台で8個のスペクトロメーターを搭載できる為、8か所のプラズマ状態を同時に測定可能 ・一台で8台のマスフローコントローラーを制御したクローズドループを設定可能 ・プラズマエミッションのモニターだけでなく、電源のインピーダンスをモニターしながらのコントロールも可能 ・スペクトル分析法を採用している為、常に高精度でArとリアクティブガスの比率を監視しており、品質の安定化を図れる。 ・スペクトル分析法を採用している為、わずかな光の異常により、真空のリークや、水のリークを検知可能。 ・スペクトル分析法を採用している為、ターゲットからバッキングチューブが露出した場合の光のわずかな異常を検知可能となり、ターゲットを使用効率の限界まで利用できる。 ・Profibus/Profinetのインターフェースを備えている為、装置との統合化が容易 ・評価用デモ機のお貸し出し応相談■摘要
スパッタでのリアクティブプロセスの成膜速度の向上■対象膜
・SiO2,TiO2,Al2O3等の酸化膜 ・SiN等の窒化膜 ・その他スパッタリングのリアクティブプロセス-
シリーズ
PEMモニター EMICON SA
PEMモニター EMICON SA 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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EMICON SA |
要見積もり |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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この商品の取り扱い会社情報
- 本社所在地: 千葉県