抵抗値測定器非接触式抵抗値測定器
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

■特徴・デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。
・真空中でのインライン測定、大気中での卓上測定、いずれも可能です。
・従来型よりも、センサーの測定レンジが約400倍広い為、膜種や膜厚によってセンサーを取り替える必要がありません。
・従来型の約50倍の速度で、測定します。
・従来型の約2.4倍の分解能で測定します。
・測定精度を、National Institute of Standards and Technology (NIST) の標準サンプルに対し、99.9％以上にまでキャリブレーション可能です。

仕様
■比抵抗　測定範囲センサー種、下限値 (Ohm/square) 、上限値 (Ohm/square) 
・1、0.5、100,000
・2、0.05、10,000
・3、0.005、1,000
註：上記3種類のセンサーから、アプリケーションに応じ選択頂けます。
註：上記センサーのホルダーは互換性がある為、後から異なるセンサーに乗せ換え可能です。

■読み込み速度40mS (ミリ秒) 

■最小必要エリア2.5cm径

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
抵抗値測定器非接触式抵抗値測定器

取扱企業
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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抵抗値測定器非接触式抵抗値測定器品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	反応レート	最大ウェブ速度	温度によるドリフト読取	ギャップサイズ	サンプル最小サイズ	空間解像度	サンプル最大厚	ウェブのリーチ	最大ウェブ幅 (サンプル全体の読み込み中)	ディスプレイの応答時間
	20J3	要見積もり	25読み込み/1秒あたり	1,000 m/1分あたり	最大解像度の0.25 %未満/1度あたり	3mm	直径2.5cm	直径2cm	1.5mm	20cm	40cm	プログラム化可