ロータリーカソード ガスバー
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
この製品について
■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。
・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化 米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。-
シリーズ
ロータリーカソード ガスバー
ロータリーカソード ガスバー 品番3件
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- 本社所在地: 千葉県