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ロータリーカソード Ni 等強磁性体専用強磁場マグネットバー-ARM-Bar
ロータリーカソード Ni 等強磁性体専用強磁場マグネットバー-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

ロータリーカソード Ni 等強磁性体専用強磁場マグネットバー
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この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。

・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化 米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。

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    ロータリーカソード Ni 等強磁性体専用強磁場マグネットバー

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ロータリーカソード Ni 等強磁性体専用強磁場マグネットバー 品番1件

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