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ロータリーカソード マグネットバー| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 構造 | 磁力 | 磁場調整ネジ | ネジ位置 | 隣接ネジ許容高低差 | 最大使用可能ターゲット | スパッタアングル | 公称分布 | 公称ターゲット使用効率 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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TRMバー |
要見積もり |
3連 |
582ガウス at 外径150mm |
＋2mm－7mm |
約300mm毎 |
最大3mm |
外径160mm |
±12度 |
±2%以下 |
70％以上 |
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mQRMバー |
要見積もり |
4連 |
764ガウス at 外径150mm |
＋2mm－8mm |
約300mm毎 |
最大2mm |
外径170mm |
±15度 |
±2%以下 |
85％以上 |
|
|
|
QRMバー |
要見積もり |
4連 |
1,056ガウス at 外径150mm |
＋2mm－7mm |
約300mm毎 |
最大2mm |
外径180mm |
±21度 |
±2%以下 |
85％以上 |
