ロータリーカソードサイドマウント型エンドブロック-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

ロータリーカソードサイドマウント型エンドブロック
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上
・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) 
・ノジュール起因によるパーティクルの最小化

米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
ロータリーカソードサイドマウント型エンドブロック

取扱企業
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

この商品に関する問題を報告する

60人以上が見ています

最新の閲覧: 18時間前

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

ロータリーカソードサイドマウント型エンドブロック品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	対応ターゲット長さ 4,000mmまで 2,500mmまで 1,000mmまで	投入可能最大パワー 200kW at DC/ 80kHz at MFAC 100kW at DC/ 80kHz at MFAC 20kW at DC/ 80kHz at MFAC	完全片持ち 1500mmで140kg以下まで可能 1000mmで140kg以下まで可能 750mmで45kg以下まで可能	専用モーター及び専用ベルト	水平・垂直搭載	マグネット角度 360度自由に調整可能
SM	要見積もり	4,000mmまで	200kW at DC/ 80kHz at MFAC	1500mmで140kg以下まで可能	含む	両方可能	360度自由に調整可能
MM	要見積もり	2,500mmまで	100kW at DC/ 80kHz at MFAC	1000mmで140kg以下まで可能	含む	両方可能	360度自由に調整可能
CM	要見積もり	1,000mmまで	20kW at DC/ 80kHz at MFAC	750mmで45kg以下まで可能	含む	両方可能	360度自由に調整可能
Swing Cathode	要見積もり	4,000mmまで	200kW at DC/ 80kHz at MFAC	-	含む	両方可能	-