ロータリーカソード全方位成膜用特殊ロータリカソード
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上
・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) 
・ノジュール起因によるパーティクルの最小化

米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ロータリーカソード全方位成膜用特殊ロータリカソード

取扱企業
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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ロータリーカソード全方位成膜用特殊ロータリカソード品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対応ターゲット長さ	投入可能最大パワー	水平・垂直搭載	マグネット角度	搭載ターゲット	タイプ
	IM	要見積もり	2,000mmまで	60kW at DCもしくはMFAC	両方可能	ターゲットは回転せず、マグネットバーのみ360度回転しながら成膜する。	内径125mm、内径80mm、両方可能	外周360度成膜用特殊カソード