ロータリーカソード 全方位成膜用 特殊ロータリカソード
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
この製品について
■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。
・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化 米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。-
シリーズ
ロータリーカソード 全方位成膜用 特殊ロータリカソード
ロータリーカソード 全方位成膜用 特殊ロータリカソード 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ターゲット長さ | 投入可能最大パワー | 水平・垂直搭載 | マグネット角度 | 搭載ターゲット | タイプ |
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IM |
要見積もり | 2,000mmまで | 60kW at DCもしくはMFAC | 両方可能 | ターゲットは回転せず、マグネットバーのみ360度回転しながら成膜する。 | 内径125mm、内径80mm、両方可能 | 外周360度成膜用特殊カソード |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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- 本社所在地: 千葉県