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シリーズ
ロータリーカソード 全方位成膜用 特殊ロータリカソード| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ターゲット長さ | 投入可能最大パワー | 水平・垂直搭載 | マグネット角度 | 搭載ターゲット | タイプ |
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IM |
要見積もり |
2,000mmまで |
60kW at DCもしくはMFAC |
両方可能 |
ターゲットは回転せず、マグネットバーのみ360度回転しながら成膜する。 |
内径125mm、内径80mm、両方可能 |
外周360度成膜用特殊カソード |
