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ロータリーカソード 小径ターゲット用ドロップイン型カソード-CC80
ロータリーカソード 小径ターゲット用ドロップイン型カソード-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

ロータリーカソード 小径ターゲット用ドロップイン型カソード
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン



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この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。

・ターゲット使用効率の向上、最大85%以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化 米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。

  • シリーズ

    ロータリーカソード 小径ターゲット用ドロップイン型カソード

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ロータリーカソード 小径ターゲット用ドロップイン型カソード 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) エンドブロック幅 対応ターゲット長さ 投入可能最大パワー TTS調整 アウトボードサポートブロック 専用モーター及び専用ベルト 水平・垂直搭載 マグネット角度 タイプ
ロータリーカソード 小径ターゲット用ドロップイン型カソード-品番-CC80

CC80

要見積もり

122mm

1,000mmまで

20kW at DC/MFAC

スペーサーを挟むことにより可能

含む

含む

両方可能

調整可能

内径80mmターゲット用

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