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ロータリーカソード ドロップイン型スイングカソード-MCS
ロータリーカソード ドロップイン型スイングカソード-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

ロータリーカソード ドロップイン型スイングカソード
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン



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この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。

・ターゲット使用効率の向上、最大85%以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化 米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。

  • シリーズ

    ロータリーカソード ドロップイン型スイングカソード

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ロータリーカソード ドロップイン型スイングカソード 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) エンドブロック幅 対応ターゲット長さ 投入可能最大パワー TTS調整 アウトボードサポートブロック 専用モーター及び専用ベルト 水平・垂直搭載 マグネット角度 タイプ
ロータリーカソード ドロップイン型スイングカソード-品番-MCS

MCS

要見積もり

211mm

2,500mmまで

100kW at DC/ 80kHz at MFAC

スペーサーを挟むことにより可能

含む

含む

両方可能

オペレーション中にスイング可能

MC-Swing 中型基板用

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