ロータリーカソード ドロップイン型 エンドブロック
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
この製品について
■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。
・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化 米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。-
シリーズ
ロータリーカソード ドロップイン型 エンドブロック
ロータリーカソード ドロップイン型 エンドブロック 品番4件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | エンドブロック幅 | 対応ターゲット長さ | 投入可能最大パワー | TTS調整 | アウトボードサポートブロック | 専用モーター及び専用ベルト | 水平・垂直搭載 | マグネット角度 | タイプ |
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SC |
要見積もり | 204mm | 4,000mmまで | 200kW at DC/ 80kHz at MFAC | スペーサーを挟むことにより可能 | 含む | 含む | 両方可能 | 15度刻みで調整可能 | 大型基板用 | |
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MC-D |
要見積もり | 160mm | 2,500mmまで | 100kW at DC/ 80kHz at MFAC | スペーサーを挟むことにより可能 | 含む | 含む | 両方可能 | 360度無段階で調整可能 | 中型基板用 | |
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TC |
要見積もり | 58mm | 1,500mmまで | 40kW at DC/ 80kHz at MFAC | スペーサーを挟むことにより可能 | 両持ちタイプ | 含む | 両方可能 | 360度自由に調整可能 | 小型基板用 | |
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Compact-MC |
要見積もり | 125mm | 2,500mmまで | 100kW at DC/ 80kHz at MFAC | スペーサーを挟むことにより可能 | 含む | 含む | 両方可能 | 360度10度刻みで調整可能 | cMC 中型基板用 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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この商品の取り扱い会社情報
- 本社所在地: 千葉県