ロータリーカソードドロップイン型エンドブロック-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

ロータリーカソードドロップイン型エンドブロック
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。・ターゲット使用効率の向上、最大85％以上
・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) 
・ノジュール起因によるパーティクルの最小化

米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
ロータリーカソードドロップイン型エンドブロック

取扱企業
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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ロータリーカソードドロップイン型エンドブロック品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	エンドブロック幅 204mm 160mm 58mm 125mm	対応ターゲット長さ 4,000mmまで 2,500mmまで 1,500mmまで	投入可能最大パワー 200kW at DC/ 80kHz at MFAC 100kW at DC/ 80kHz at MFAC 40kW at DC/ 80kHz at MFAC	TTS調整	アウトボードサポートブロック含む両持ちタイプ	専用モーター及び専用ベルト	水平・垂直搭載	マグネット角度 15度刻みで調整可能 360度無段階で調整可能 360度自由に調整可能 360度10度刻みで調整可能	タイプ大型基板用中型基板用小型基板用 cMC 中型基板用
SC	要見積もり	204mm	4,000mmまで	200kW at DC/ 80kHz at MFAC	スペーサーを挟むことにより可能	含む	含む	両方可能	15度刻みで調整可能	大型基板用
MC-D	要見積もり	160mm	2,500mmまで	100kW at DC/ 80kHz at MFAC	スペーサーを挟むことにより可能	含む	含む	両方可能	360度無段階で調整可能	中型基板用
TC	要見積もり	58mm	1,500mmまで	40kW at DC/ 80kHz at MFAC	スペーサーを挟むことにより可能	両持ちタイプ	含む	両方可能	360度自由に調整可能	小型基板用
Compact-MC	要見積もり	125mm	2,500mmまで	100kW at DC/ 80kHz at MFAC	スペーサーを挟むことにより可能	含む	含む	両方可能	360度10度刻みで調整可能	cMC 中型基板用