Particle-in-Cell法 (PIC法) によるプラズマシミュレーション Particle-PLUS-Particle-PLUS

Particle-in-Cell法 (PIC法) によるプラズマシミュレーション Particle-PLUS
株式会社ウェーブフロント

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この製品について

Particle-PLUSは非平衡プラズマの数値解析に優れたシミュレーションソフトウェアです。 特に、希薄気体中 (低圧下) や壁近傍でのプラズマ現象の解析を得意としております。 これまでに国内外問わず多くの企業様と大学様への導入実績があり、 皆様から多くのご好評のお声をいただいております。

 本製品はウェーブフロントが独自に開発しているソフトウェアです。

■Particle-PLUSでできることParticle-PLUSでは、マグネトロンスパッタリング (直流または高周波) 、プラズマCVD、プラズマエッチング、 イオンプレーティング、電子ビーム、電気泳動などのプロセスにおけるプラズマの挙動を解析して、 電子分布、イオン分布、電位分布、電流分布、エネルギー分布などを計算できます。 また、プラズマ計算だけでなく、磁石配置に対する磁場強度、基板上の成膜レート、固体の温度などの計算機能も備わっています。

■充実のサービス内容Particle-PLUS開発チームは製造業の皆様に寄り添い全力でものづくりを応援させていただきます。 お困りの声に対する安心のサポートやソフトウェア利用講習会、 お客様からの要望をお聞きして機能を追加するカスタム開発などのサービスを提供させていただいております。 また、ソフトウェアのご購入だけではなく、受託解析も承っております。