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チップソーター ACT-1000-ACT-1000
チップソーター ACT-1000-アクテス京三株式会社

チップソーター ACT-1000
アクテス京三株式会社

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■特徴

・把持ピックアップ方式による新型チップソーター (コレット交換不用) ・マイクロハンドによる表面非接触ピックアップ機構がワークに与えるダメージを軽減 ・ウェハーtoトレイ、トレイtoトレイのチップ移載に対応 ・8インチウェハー対応で巾600mmの超コンパクト設計 ・高速画像処理による高精度な自動アライメント機能搭載 ・マッピングデータ対応

  • シリーズ

    チップソーター ACT-1000

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チップソーター ACT-1000 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 本体 外形寸法 (mm) 本体 重量 電源 エアー 真空 ベースステージ 有効作業エリア ベースステージ 位置決め分解能 ベースステージ 位置決め制度 ヘッド移動部 可動範囲 ヘッド移動部 位置決め分解能 ヘッド移動部 位置決め精度 把持ヘッド部 移動量 把持力センサ
チップソーター ACT-1000-品番-ACT-1000

ACT-1000

要見積もり

670Wx710Dx780H

約70kg

AC100V/10A

φ6mm/0.2MPa以上

吸着用ポンプ装備

200x200mm

0.004mm

繰り返し±0.001mm以内

Z:30mm以上 θ:±10°

Z:0.01mm θ:±0.0012°

繰返し±0.01mm以内

30mm以上

MAX100g/最小表示1g

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  • 本社所在地: 神奈川県
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