FPD製造装置向けスパッタリングターゲット-FPD製造装置向けスパッタリングターゲット

FPD製造装置向けスパッタリングターゲット
アルバック販売株式会社

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この製品について

■多様化・大型化するFPD (Flat Panel Display) 市場において高い品質と安定した材料の供給をします。・ワールドワイドな素材確保
・大型ターゲットに対応する品質管理設備と体制 (G8世代はもちろんのこと、超大型ガラス基板にも対応) 
・超材料研究所と連動してお客様のプロセスに最適な材料の供給

特長
■きめ細かな品質保証大型超音波探傷装置を導入し、入念な材料中の欠陥検査や接合検査を行っています。これにより、スパッタリング時のアーキング発生量の低減化を 実現し、高品質ターゲットを提供しています。

■高信頼度のメタルボンディング技術ガラス基板、成膜装置の大型化に対応できるボンディング設備を導入し、万全なターゲット供給体制を敷いています。

■その他・パーティクル発生を抑制したスパッタリングターゲット
・金属組成調整による高い均一性

■低抵抗Cu配線プロセス用Cu-Mg-Al系合金・低抵抗配線プロセスの成膜が可能なターゲットです。 (Pure Cu膜の密着層としてCu-Mg-Al合金を用いる積層構造) 
・ガラス基板、酸化物層 (ITO等) 、Si系下地層 (SiO2) との密着性が良好
・配線層と同様のCu系材料のためWetエッチングによる加工が容易 (過水系やフッ酸系を用いないエッチング液 (1液) での加工が可能) 
・低コストプロセス
・安価なターゲット材料

■FPD用スパッタリングターゲット材料※材質の対応・取り扱いは別途ご相談ください。