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FPD製造装置向けスパッタリングターゲット-FPD製造装置向けスパッタリングターゲット
FPD製造装置向けスパッタリングターゲット-アルバック販売株式会社

FPD製造装置向けスパッタリングターゲット
アルバック販売株式会社

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この製品について

■多様化・大型化するFPD (Flat Panel Display) 市場において高い品質と安定した材料の供給をします。

・ワールドワイドな素材確保 ・大型ターゲットに対応する品質管理設備と体制 (G8世代はもちろんのこと、超大型ガラス基板にも対応) ・超材料研究所と連動してお客様のプロセスに最適な材料の供給 特長

■きめ細かな品質保証

大型超音波探傷装置を導入し、入念な材料中の欠陥検査や接合検査を行っています。これにより、スパッタリング時のアーキング発生量の低減化を 実現し、高品質ターゲットを提供しています。

■高信頼度のメタルボンディング技術

ガラス基板、成膜装置の大型化に対応できるボンディング設備を導入し、万全なターゲット供給体制を敷いています。

■その他

・パーティクル発生を抑制したスパッタリングターゲット ・金属組成調整による高い均一性

■低抵抗Cu配線プロセス用Cu-Mg-Al系合金

・低抵抗配線プロセスの成膜が可能なターゲットです。 (Pure Cu膜の密着層としてCu-Mg-Al合金を用いる積層構造) ・ガラス基板、酸化物層 (ITO等) 、Si系下地層 (SiO2) との密着性が良好 ・配線層と同様のCu系材料のためWetエッチングによる加工が容易 (過水系やフッ酸系を用いないエッチング液 (1液) での加工が可能) ・低コストプロセス ・安価なターゲット材料

■FPD用スパッタリングターゲット材料

※材質の対応・取り扱いは別途ご相談ください。

  • シリーズ

    FPD製造装置向けスパッタリングターゲット

企業レビュー

レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです

4.5

評判がとても良い

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2025年8月7日にレビュー

フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。

初回返答までの時間・1.11時間

2025年7月28日にレビュー

返信までのタイムラグがありましたが，返信内容は丁寧でした。

初回返答までの時間・69.57時間

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最新の閲覧: 8時間前

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FPD製造装置向けスパッタリングターゲット 品番1件

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FPD製造装置向けスパッタリングターゲット

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この商品の取り扱い会社情報

アルバック販売株式会社

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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