各種電源・ロボット関連水晶発振式成膜コントローラデータ収集ソフトウェア Depoview-Depoview

各種電源・ロボット関連水晶発振式成膜コントローラデータ収集ソフトウェア Depoview
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この製品について

■概要Depoviewは、アルバック製水晶発振式成膜コントローラ (CRTM) の膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のデータを収集するソフトウェアです。CRTMとパソコンをRS-232C通信ケーブルでつなぎ、ロギングデータのリアルタイム表示、保存、履歴管理ができます。

Depoviewは、CRTM-9100GとCRTM-6000Gに対応しております。

■用途CRTMの膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のデータを収集、リアルタイム表示、保存、管理

■特長・CRTMの膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のデータを画面上にリアルタイム表示できます。
・プログラム稼動中における膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のトレンドグラフを画面上に表示できます。
・ロギングデータは、CSV形式にてファイルに保存できます。
・CSV形式のロギングデータを読出し、グラフに表示する事ができます。

■リアルタイム表示現在の膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数、レイヤーNo、プログラムNoを画面上に表示します。CRTM-9100Gでは、SSモジュールカード4枚装着に対応しています。

■トレンドグラフ表示プログラム稼動中における膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数のトレンドグラフを画面上に表示します。最大/最小/平均値、画面の拡大/移動表示が可能です。

■データロギングプログラム稼動中における膜厚、成膜速度、パワー、水晶振動子周波数、レイヤーNo.とプログラムNo.を記録し、データをCSV形式ファイルに保存します。

※CRTM-9100Gでは、レイヤーNo.とプログラムNo.は、取得できません。

■履歴管理ロギングデータは、CSV形式にてファイルに保存します。ロギングデータを読出し、グラフに表示する事ができます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
各種電源・ロボット関連水晶発振式成膜コントローラデータ収集ソフトウェア Depoview

取扱企業
アルバック販売株式会社

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各種電源・ロボット関連水晶発振式成膜コントローラデータ収集ソフトウェア Depoview 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	動作環境 OS	動作環境 CPU	動作環境メモリ	動作環境その他ハードウェア	付属品
	Depoview	要見積もり	WindowsXP/7日本語版	PentiumIII 1GHz以上もしくはその互換プロセッサ	256MB以上	COMポート、USBポート、CD-ROMドライブ、解像度XGA以上	セットアップCD インストール手順書ライセンスキー (USBポート使用) ※CRTMとつなぐ、RS-232C通信ケーブルは付属しておりません。