各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン RF電源 RFS-Nシリーズ
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
RFS-Nシリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。■用途
・スパッタリング装置 ・CVD装置 ・プラズマエッチング装置 ・RFイオン源 ・ニュートラライザ 特長■高効率アンプ採用
電力変換効率の良いRF回路を構成し、省エネルギー■高速オートマッチング
高速アルゴリズムにより高速オートマッチングを実施■RF電源にオートマッチング機能を内蔵
・本体ユニットのみでマッチングシステム制御が可能。 ・内蔵のコントローラでRF電源・マッチングボックスのマニュアル操作も可能■柔軟な制御形態に対応
外部アナログ制御、シリアル通信制御が可能■高信頼性
装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック-
シリーズ
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン RF電源 RFS-Nシリーズ
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取扱企業
アルバック販売株式会社
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン RF電源 RFS-Nシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | パワージェネレータ 入力仕様 入力定格電圧 | パワージェネレータ 入力仕様 入力電圧変動範囲 | パワージェネレータ 入力仕様 相数・周波数 | パワージェネレータ 入力仕様 入力接続部 | パワージェネレータ 入力仕様 入力容量 | パワージェネレータ 入力仕様 入力電流 | パワージェネレータ 入力仕様 漏洩電流 | パワージェネレータ 出力仕様 発振周波数 | パワージェネレータ 出力仕様 定格進行波電力 | パワージェネレータ 出力仕様 最大反射波電力 | パワージェネレータ 出力仕様 出力インピーダンス | パワージェネレータ 出力仕様 高調波歪率 | パワージェネレータ 出力仕様 出力接続部 | 制御 制御方式 | 制御 制御精度 | 冷却方式 | 制御補償範囲 | 外形寸法 (W x D x H) | 質量 | マッチングボックス 形式 | マッチングボックス RF入力 入力周波数 | マッチングボックス RF入力 定格電力 | マッチングボックス RF入力 入力接続部 | マッチングボックス RF出力 許容出力電圧 | マッチングボックス RF出力 許容出力電流 | マッチングボックス RF出力 負荷インピーダンス | マッチングボックス 残留反射波電力 | マッチングボックス 冷却方式 | マッチングボックス 外形寸法 W×D×H | マッチングボックス 質量 |
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RFS-1305N |
要見積もり | AC200 to 220V | AC180~242V | 単相 50/60Hz | DCA3102E16-10P-D (バヨネットロック式丸型レセプタクル) | 1.2 kVA以下 | 10A以下 | 5mA以下 | 13.56MHz | 500W (50Ω負荷時) | 100W | 50Ω | -35dB以下 (定格出力時連続モードにて) | N型 | 定電力制御 | 定格出力の±2％以下 (定格電力値の10~100%) |
空冷 流量 4L/min |
定格電力値の10~100% | 240mm x 495mm x 150mm (突起部含まず) | 約11kg |
MBX-1305N/1310N MBX-1330N MBX-1350N |
13.56MHz |
MBX-1305N/1310N：50~1,000W MBX-1330N：30~3,000W MBX-1350N：50~5,000W |
MBX-1330N：HN型 MBX-1350N：DIN 7/16型 |
MBX-1305N/1310N：2.5kVpp以下/2.5kVdc以下 MBX-1330N：5.0kVpp以下/2.5kVdc以下 MBX-1350N：10kVpp以下/2.5kVdc以下 |
MBX-1305N/1310N：30A以下 MBX-1330N：80A以下 MBX-1350N：120A以下 |
実部：0.5Ω ≦ R ≦ 10.0Ω (ただし、規定電圧、規定電流の範囲内の時) | 入力進行波電力の0.3%以下もしくは10W以下 (MBX-1305N/1310N) /30W以下 (MBX-1330N) /50W以下 (MBX-1350N) のどちらか大きい方 |
MBX-1305N/1310N, MBX-1330N：空冷 MBX-1350N：空冷+水冷 (流量 2L/min) |
MBX-1305N/1310N：375mm×250mm×120mm MBX-1330N：375mm×250mm×170mm MBX-1350N：450mm×500mm×248mm (突起部含まず) |
MBX-1305N/1310N：約8kg MBX-1330N：約10kg MBX-1350N：約21kg |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
