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シリーズ
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン RF電源 RFS-Nシリーズ取扱企業
アルバック販売株式会社| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | パワージェネレータ 入力仕様 入力定格電圧 | パワージェネレータ 入力仕様 入力電圧変動範囲 | パワージェネレータ 入力仕様 相数・周波数 | パワージェネレータ 入力仕様 入力接続部 | パワージェネレータ 入力仕様 入力容量 | パワージェネレータ 入力仕様 入力電流 | パワージェネレータ 入力仕様 漏洩電流 | パワージェネレータ 出力仕様 発振周波数 | パワージェネレータ 出力仕様 定格進行波電力 | パワージェネレータ 出力仕様 最大反射波電力 | パワージェネレータ 出力仕様 出力インピーダンス | パワージェネレータ 出力仕様 高調波歪率 | パワージェネレータ 出力仕様 出力接続部 | 制御 制御方式 | 制御 制御精度 | 冷却方式 | 制御補償範囲 | 外形寸法 (W x D x H) | 質量 | マッチングボックス 形式 | マッチングボックス RF入力 入力周波数 | マッチングボックス RF入力 定格電力 | マッチングボックス RF入力 入力接続部 | マッチングボックス RF出力 許容出力電圧 | マッチングボックス RF出力 許容出力電流 | マッチングボックス RF出力 負荷インピーダンス | マッチングボックス 残留反射波電力 | マッチングボックス 冷却方式 | マッチングボックス 外形寸法 W×D×H | マッチングボックス 質量 |
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RFS-1305N |
要見積もり | AC200 to 220V | AC180~242V | 単相 50/60Hz | DCA3102E16-10P-D (バヨネットロック式丸型レセプタクル) | 1.2 kVA以下 | 10A以下 | 5mA以下 | 13.56MHz | 500W (50Ω負荷時) | 100W | 50Ω | -35dB以下 (定格出力時連続モードにて) | N型 | 定電力制御 | 定格出力の±2％以下 (定格電力値の10~100%) |
空冷 流量 4L/min |
定格電力値の10~100% | 240mm x 495mm x 150mm (突起部含まず) | 約11kg |
MBX-1305N/1310N MBX-1330N MBX-1350N |
13.56MHz |
MBX-1305N/1310N：50~1,000W MBX-1330N：30~3,000W MBX-1350N：50~5,000W |
MBX-1330N：HN型 MBX-1350N：DIN 7/16型 |
MBX-1305N/1310N：2.5kVpp以下/2.5kVdc以下 MBX-1330N：5.0kVpp以下/2.5kVdc以下 MBX-1350N：10kVpp以下/2.5kVdc以下 |
MBX-1305N/1310N：30A以下 MBX-1330N：80A以下 MBX-1350N：120A以下 |
実部：0.5Ω ≦ R ≦ 10.0Ω (ただし、規定電圧、規定電流の範囲内の時) | 入力進行波電力の0.3%以下もしくは10W以下 (MBX-1305N/1310N) /30W以下 (MBX-1330N) /50W以下 (MBX-1350N) のどちらか大きい方 |
MBX-1305N/1310N, MBX-1330N：空冷 MBX-1350N：空冷+水冷 (流量 2L/min) |
MBX-1305N/1310N：375mm×250mm×120mm MBX-1330N：375mm×250mm×170mm MBX-1350N：450mm×500mm×248mm (突起部含まず) |
MBX-1305N/1310N：約8kg MBX-1330N：約10kg MBX-1350N：約21kg |
