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各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン 異常放電防止ユニット A2Kシリーズ-A2KH-25
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン 異常放電防止ユニット A2Kシリーズ-アルバック販売株式会社

各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン 異常放電防止ユニット A2Kシリーズ
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

A2Kシリーズは反応性スパッタリングプロセスにおいて、直流電源にプラス電圧をパルス印加しターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。既設装置にも簡単に取り付け可能で、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。

■用途

・FPD用反応性スパッタリング装置 ・産業コーティング用反応性スパッタリング装置 ・カラーTFT用反応性スパッタリング装置 特長

■高スループット

異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能

■基板ダメージの低減

アーク起因の基板ダメージを低減可能

■基板温度の抑制

RFスパッタリングに比べ基板温度の抑制が可能

■簡易な接続性

既存の装置にも接続が可能 (弊社DC電源との接続が可能)

■逆パルス周波数の変更可

A2KH-25/50：1kHz～20kHz、A2K-20K/40K：1kHz～50kHzの範囲で可能

■パルス同期システム

複数台のA2Kの出力パルス同期が可能 ※A2KH-25、50、A2K-20K、40Kの混在使用によるパルス同期および並列運転はできません ※A2KH-25/50は外部同期ユニット (PHSM/PHSS) が必要

■マスタースレーブ接続により大容量化が可能

A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能

■応用：パルス同期システム

同一チャンバー内でカソードが近接しており、カソードが対向、もしくは複数台のA2Kの放電が干渉している時には、位相制御機能をご使用頂くことでA2Kの逆パルスを同相にし、放電の干渉を防止させることが可能です。 ※A2KH-25/50は外部同期ユニット (PHSM/PHSS) が必要 ※A2K-20K/40Kは光同期ケーブル (Pulse link cable) が必要

  • シリーズ

    各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン 異常放電防止ユニット A2Kシリーズ

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各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン 異常放電防止ユニット A2Kシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 制御電源入力 input 入力 制御電源入力 input 周波数 制御電源入力 input 電力 制御電源入力 input 漏洩電流 入力仕様 動作電圧 入力仕様 動作電流 入力仕様 入力構造 出力仕様 パルス幅 出力仕様 発振周波数 出力仕様 逆パルス電圧 耐圧 連続 冷却方式 外形寸法 (W×D×H) 質量 適合規格 動作周囲温度 動作環境
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン 異常放電防止ユニット A2Kシリーズ-品番-A2KH-25

A2KH-25

要見積もり

AC90~110V

単相 50/60Hz 50/60Hz

100VA

1mA以下

-100~-800V

0~25A

コネクタ接続

5μs/10μs 内部スイッチで切替

・パルス幅 5μs選択時の周波数：
2, 5, 10, 15, 20kHz
・パルス幅 10μs選択時の周波数：
1, 2.5, 5, 7.5, 10kHz

DC電源出力電圧の10~20% (負荷インピーダンスに依存)

-1,500Vdc

強制空冷

238×450×149mm

16kg

RoHs指令

5℃~40℃ (結露なき事)

直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと

この商品の取り扱い会社情報

アルバック販売株式会社

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返答時間

228.6時間

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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