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各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン デュアルカソード用バイポーラユニット MFU-20K-MFU-20K
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン デュアルカソード用バイポーラユニット MFU-20K-アルバック販売株式会社

各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン デュアルカソード用バイポーラユニット MFU-20K
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この製品について

■概要

MFU-20KはULVAC製DC電源に追加することにより、直流出力をバイポーラパルス出力に変換するユニットです。低コストでの歩留まり・スループットの向上を実現します。

■用途

・FPD用反応性スパッタリング装置 ・産業コーティング用反応性スパッタリング装置 ・カラーTFT用反応性スパッタリング装置 ・スパッタリング装置全般 特長

■広い周波数範囲

10kHz~100kHzの範囲で可能

■マスター/スレーブ接続により大容量化が可能

最大6台までの並列運転が可能

■DC出力も可能

入力DC電源の出力をそのままカソードに印加することが可能

  • シリーズ

    各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン デュアルカソード用バイポーラユニット MFU-20K

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各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン デュアルカソード用バイポーラユニット MFU-20K 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 制御電源入力 入力電圧 制御電源入力 変動範囲 制御電源入力 相数、周波数 制御電源入力 入力容量 入力仕様 動作電圧 入力仕様 イグニッション電圧 入力仕様 動作電流 出力仕様 最大出力電圧 出力仕様 イグニッション電圧 出力仕様 最大出力電流 出力仕様 発振周波数 出力仕様 デューティー 冷却方式 外形寸法 (W×D×H) 質量 適合規格 動作周囲温度 動作環境
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン デュアルカソード用バイポーラユニット MFU-20K-品番-MFU-20K

MFU-20K

要見積もり

AC100V/AC240V

AC90~264V

単相 50/60Hz

400VA

0~-1,000V

-1,200V

50A

1,000V (RMS)

DC-1,200V

50A

10k~100kHz

10~90%

強制空冷

483mm×630mm×177mm (突起物含まず)

37kg

CE/SEMI F47/RoHS指令

5℃~40℃ (結露なき事)

過電圧カテゴリーⅡ、汚染度Ⅱ、直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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