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熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 システム 雰囲気可変型ランプ加熱装置 VHCシリーズ-VHC-E410
熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 システム 雰囲気可変型ランプ加熱装置 VHCシリーズ-アルバック販売株式会社

熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 システム 雰囲気可変型ランプ加熱装置 VHCシリーズ
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■概要

太陽電池から化合物半導体等のプロセス開発に。VHCシリーズはQHCシリーズの機能に加えて真空排気系とピラニ真空計が搭載されています。加熱操作をパソコン上で行え手軽にデータ管理出来ます。お客様のニーズに合わせたカスタマイズが可能です。

■用途

・太陽電池基板の熱処理 ・水素雰囲気下での熱処理 ・各種材料の基礎研究用雰囲気アニール・熱処理シミュレータ ・ガスクェンチ熱処理 ・熱サイクル試験 熱衝撃試験 ・半導体材料の焼成、アニール条件の検討 ・2インチウェハ研究用アニール ・セラミックスのO₂量制御雰囲気での熱処理

■特長

・高速加熱から低速加熱まで幅広い条件設定 ・多段ステップ サイクル加熱 ・ガス冷却機構による高速ガスクェンチ、クーリングコントロール ・パソコンによる手軽なデータ管理

  • シリーズ

    熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 システム 雰囲気可変型ランプ加熱装置 VHCシリーズ

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熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 システム 雰囲気可変型ランプ加熱装置 VHCシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 温度範囲 試料寸法 均熱ゾーン (保持時目安) 測定雰囲気 アプリケーション
熱処理・加熱装置 赤外線イメージ炉 システム 雰囲気可変型ランプ加熱装置 VHCシリーズ-品番-VHC-E410

VHC-E410

要見積もり

室温~1,400℃

Φ15mm×長100mm

Φ10mm×80mmL

大気中、ガス中、ガスフロー中、真空中 (真空排気系はオプション)

ロータリーポンプ排気セット
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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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