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水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G-CRTM-6000G
水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G-アルバック販売株式会社

水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

CRTM-6000Gは優れた分解能で、蒸着膜厚/レートのモニタリング及び制御が可能な水晶発振式の成膜コントローラです。ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。

■用途

蒸着時の膜厚および蒸着速度の制御

■特長

・優れた膜厚・成膜速度分解能により、成膜速度が低い場合の制御にも対応可能 ・サンプリングレートが125msと速いため、レスポンスの良い制御が可能 ・最大99層までの多層膜制御が可能 ・RS232Cを標準装備 ・シングルセンサを2本まで接続可能 (切り替え式) ・プログラム可能なデジタル入出力 (各12ch) およびアナログ出力 (3ch) を装備

  • シリーズ

    水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G

企業レビュー

レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです

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評判がとても良い

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2025年8月7日にレビュー

フォームを経由し、非常にわかりやすくスムーズなお問い合わせのご対応をいただけました。誠にありがとうございます。

初回返答までの時間・1.11時間

2025年7月28日にレビュー

返信までのタイムラグがありましたが,返信内容は丁寧でした。

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水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 膜厚・測定分解能 膜厚表示範囲/表示分解能 蒸着速度表示範囲/表示分解能 対応センサ周波数 取り付け可能センサ数 サンプリングレート 多層膜数 デポジションプログラム数 デジタル入力/出力 アナログ出力 外形寸法 (W×D×H)
水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G-品番-CRTM-6000G

CRTM-6000G

要見積もり

0.041 Å (5 MHz)
0.029 Å (6 MHz)

0.001kÅ ~ 999.9kÅ/1Å

0.1 ~ 999.9Å/s/0.1Å/s

5MHz, 6MHz

シングルセンサ:2 (同時計測は不可、切り替え式)
マルチセンサ:1

125ms

99層

99

入力:12chプログラマブル
出力:12chプログラマブル

3chプログラマブル

240mm x 350mm x 99mm

この商品の取り扱い会社情報

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企業レビュー

4.5

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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