水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G
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この製品について

■概要CRTM-6000Gは優れた分解能で、蒸着膜厚/レートのモニタリング及び制御が可能な水晶発振式の成膜コントローラです。ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。

■用途蒸着時の膜厚および蒸着速度の制御

■特長・優れた膜厚・成膜速度分解能により、成膜速度が低い場合の制御にも対応可能
・サンプリングレートが125msと速いため、レスポンスの良い制御が可能
・最大99層までの多層膜制御が可能
・RS232Cを標準装備
・シングルセンサを2本まで接続可能 (切り替え式) 
・プログラム可能なデジタル入出力 (各12ch) およびアナログ出力 (3ch) を装備

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G

取扱企業
アルバック販売株式会社

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水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	膜厚・測定分解能	膜厚表示範囲/表示分解能	蒸着速度表示範囲/表示分解能	対応センサ周波数	取り付け可能センサ数	サンプリングレート	多層膜数	デポジションプログラム数	デジタル入力/出力	アナログ出力	外形寸法 (W×D×H)
	CRTM-6000G	要見積もり	0.041 Å (5 MHz) 0.029 Å (6 MHz)	0.001kÅ ~ 999.9kÅ/1Å	0.1 ~ 999.9Å/s/0.1Å/s	5MHz, 6MHz	シングルセンサ：2 (同時計測は不可、切り替え式) マルチセンサ：1	125ms	99層	99	入力：12chプログラマブル出力：12chプログラマブル	3chプログラマブル	240mm x 350mm x 99mm