分析・計測機器薄膜計測触針式プロファイラ Alpha-Step D-500/D-600-Alpha-Step D-500

分析・計測機器薄膜計測触針式プロファイラ Alpha-Step D-500/D-600
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要Alpha-Step D-500/D-600は、さまざまな試料表面の段差 (膜厚) 、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。充実した仕様・性能を備えコストパフォーマンスも優れていますので、研究開発から生産まで幅広い用途でお役立ていただけます。

※日本国内販売のみ

■用途試料表面の段差 (膜厚) 、粗さ、うねり (ストレス) 、形状の測定

■特長・ワイドな垂直測定レンジ (最大1,200μm) 
・優れた段差測定再現性 (1σ＝0.5nm/1μm段差) 
・低針圧測定 (0.03mg ～ 15mg) 
・観察用カラーカメラ (4Xデジタルズーム付) 
・キーストーン画像補正機能
・Φ140mm (移動範囲：80×20mm) 手動ステージ
・省スペース (本体サイズ：W250×D390mm) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
分析・計測機器薄膜計測触針式プロファイラ Alpha-Step D-500/D-600

取扱企業
アルバック販売株式会社

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分析・計測機器薄膜計測触針式プロファイラ Alpha-Step D-500/D-600 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定長さ	サンプルステージ直径	XYステージ移動範囲	θステージ	サンプル厚さ (最大)	サンプル観察	段差測定再現性	垂直測定レンジ (最大)	垂直測定分解能 (最高)	針圧範囲	触針先端半径	プロファイルデータポイント	Apex 2D/3D解析	ストレス測定	プロファイルスティッチング	オートレベリング	アークモーション補正	OS	電源	外形寸法 (W×D×H) /重量
	Alpha-Step D-500	要見積もり	30mm	140mm	80×20mm、手動	360°、手動	20mm	視野3.76×3.12mm、4Xデジタルズーム付、サイドビュー	1σ＝0.5nm (1μm標準試料)	1,200μm	0.038nm (2.5μmレンジ)	0.03~15mg	2μmR	120,000	オプション：2D	オプション (2Dストレス)	標準	標準 (ソフト)	標準	Windows7	AC90-260V、50/60Hz、500VA	250×390×240mm/13.6kg (本体測定部のみ、PC・モニタ等は含まず)