分析・計測機器薄膜計測触針式プロファイラ P-7/P-17
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この製品について

■概要P-7/P-17は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。さまざまな表面形状を迅速かつ高精度に評価することができます。

※日本国内販売のみ

■特長・優れた段差測定再現性 (1σ＝0.4nm/1μm段差) 
・自動シーケンス測定機能 (標準20サイト、オプション1,000サイト) 
・3タイプの測定ヘッド (標準/低針圧/拡張レンジ) 
・Apex 2D解析/レポートソフトウェア
・Φ150mm電動ステージ
・長距離測定 (最大150mm) 
・シングルビューカメラ (トップ/サイドから選択可) 
・2Dストレス/3D解析ソフト (オプション) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
分析・計測機器薄膜計測触針式プロファイラ P-7/P-17

取扱企業
アルバック販売株式会社

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分析・計測機器薄膜計測触針式プロファイラ P-7/P-17 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定長さ	サンプルステージ直径	XYステージ移動範囲	θステージ	サンプル厚さ (最大)	サンプル観察	段差測定再現性	垂直測定レンジ (最大)	垂直測定分解能 (最高)	針圧範囲	触針先端半径	プロファイルデータポイント	自動シーケンス測定	ストレス測定	パターン認識	プロファイルスティッチング	オートレベリング	Apex 2D/3D解析	OS	電源	外形寸法 (W×D×H) /重量
	P-7	要見積もり	150mm	150mm	Φ150mm 電動プログラマブル	360°手動	55mm	・シングルビュー (トップ or サイドを選択) ・4Xデジタルズーム付き・サイドビュー：視野 1.05×0.85mm ・トップビュー：視野 1.7×1.4mm	1σ＝0.4nm (1μm標準試料)	327μm、オプション：1,000μm	0.001nm (6.5μmレンジ)	0.5~50mg、オプション：0.03~50mg (測定レンジ 131μm)	2μmR	4,000,000	20サイト、オプション：1,000サイト	オプション：2Dストレス	オプション	標準	標準	標準2D	Windows7	AC90-230V、50/60Hz、500VA	570×670×430mm/80kg (本体測定部のみ、PC・モニタ含まず)