断面試料作製装置 冷却クロスセクションポリッシャ™ IB-19520CCP-IB-19520CCP
断面試料作製装置 冷却クロスセクションポリッシャ™ IB-19520CCP-コスモトレーディング株式会社

断面試料作製装置 冷却クロスセクションポリッシャ™ IB-19520CCP
コスモトレーディング株式会社

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この製品について

加工時に試料を液体窒素冷却する事によりイオンビームによる熱ダメージを軽減させる事が出来ます。 冷却保持時間も長く、液体窒素の消費量を抑えた構造になっています。液体窒素を入れたまま、短時間で試料の冷却、室温戻し、取り外しが可能です。大気非曝露環境下で、加工から観察までを行う為の搬送機構が付いています。 特長

■自動加工プログラム

高速加工と仕上げ加工をプログラムすることができます。高品質な断面を短時間で作製できます。また、間欠加工プログラムにより、加工温度を抑えた加工ができます。

■自動加工開始モード/自動冷却加工開始モード

設定圧力値、冷却温度に到達後、自動で加工を開始可能です。また冷却加工終了後は自動で室温まで復帰可能です。

■間欠加工モード

イオンビーム照射と停止を一定間隔で繰り返し、試料の温度上昇を抑えることができます。冷却機能と合わせて使用することも可能です。

■仕上げ加工モード

高加速電圧の加工後、低加速電圧の加工に自動で切り替えて、短時間で高品質な断面作製が可能です。特に結晶構造解析のための試料作製に有効です。

■マルチパーパスステージ

各種機能ホルダーを選択することにより、断面ミリングだけではなく、平面ミリング、回転断面ミリング、イオンビームスパッタコーティング機能の拡張が可能です。

■冷却機能

冷却の効果。試料:亜鉛めっき鋼板

■温度調整機構を用いた冷却

試料:Siウエハ接着面

■間欠加工、冷却機能、温度調整冷却機能の使い分けにより様々試料加工に対応

3つの機能を試料に合わせて利用することで試料の加工が可能

■大気非曝露機能

トランスファーベッセルを用い、大気非曝露環境下で、加工から観察までを行うことができます。

  • シリーズ

    断面試料作製装置 冷却クロスセクションポリッシャ™ IB-19520CCP

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断面試料作製装置 冷却クロスセクションポリッシャ™ IB-19520CCP 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) イオン加速電圧 ミリングスピード 試料スイング機能 自動加工開始モード 自動冷却加工開始モード/自動室温復帰モード 試料ステージ冷却到達温度 冷却温度設定範囲 試料冷却-100℃到達時間 試料冷却保持時間 大気非曝露機能 間欠加工モード 仕上げ加工モード 広域断面ミリングモード 最大搭載試料サイズ 断面ミリング (幅×長×厚mm) 最大搭載試料サイズ 平面ミリング (mm) 試料移動範囲 操作法 加工位置合わせ法 位置合わせ用カメラ倍率 加工観察用カメラ倍率 外部モニター出力 プリセット機能 寸法・質量 (本体) (mm) 寸法・質量 (ロータリーポンプ) (mm) 電源 最大消費電力 接地端子 アルゴンガス 室温/湿度
断面試料作製装置 冷却クロスセクションポリッシャ™ IB-19520CCP-品番-IB-19520CCP

IB-19520CCP

要見積もり 2~8kV 500μm/h以上 (加速電圧8kV) ±30°自動スイングモード、任意角度設定モード -120℃以下 -120~0℃ 60分以内 8時間以上 イオンビーム照射時間と停止時間を設定可能 (ON: 1~999秒、OFF: 1~999秒) 自動的に加工条件切り替え 最大加工幅:8mm (オプション: 広域加工ホルダー IB-11730LMH) 11×8×3 (標準付属試料ホルダー)
25×15×10 (オプション: 広域加工ホルダー IB-11730LMH)
40 (直径) ×15 (厚さ) (オプション: 大形試料回転ホルダーIB-11550LSRH) X軸: ±6mm、Y軸: ±2.5mm タッチパネル、6.5型ディスプレー カメラにより試料ステージ上をモニター
光学顕微鏡下でも加工位置調整可能
約×70 (6.5型ディスプレー上) 約×20~×100 (6.5型ディスプレー上) 位置合わせ用カメラと加工観察用カメラを切り替えて外部モニターに表示可能 (EC-10020VST取り付け時) 加工条件 (加速電圧、アルゴンガス流量、加工時間、間欠加工) を4組プリセット 690 (幅) ×720 (奥行) ×530 (高さ) 、約75kg 120 (幅) ×288.5 (奥行) ×163 (高さ) 、約9.3kg 単相AC100~120V、50/60Hz、許容入力電圧変動10%以下、設備定格15A以上 650VA D種接地 (100Ω以下) 純度99.9999%以上推奨
使用圧力: 0.1~0.2MPa (1.0~2.0kgf/cm2) ホース接続口: JIS B 0203 Rc 1/4
15~25℃/60%以下 (結露しないこと)

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

コスモトレーディングは、日本のモノづくりを支える分析装置に特化した専門商社です。
モノづくりに欠かせない「研究開発・製造・品質保証」の活動において、観察・計測・分析装置を通じて最先端の技術を提供します。
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