集束イオンビーム加工観察装置 JIB-PS500i FIB-SEMシステム-JIB-PS500i

集束イオンビーム加工観察装置 JIB-PS500i FIB-SEMシステム
コスモトレーディング株式会社

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この製品について

■新しい試料作製ソリューションJIB-PS500iは、TEM試料作製をアシストする3つのソリューションを提供します。試料作製からTEM観察まで、確実かつ高スループットなワークフローで作業することができます。

■TEM-LINKAGE二軸傾斜カートリッジとTEMホルダーによりTEM⇔FIBのリンクを容易にします。カートリッジは専用のTEM試料ホルダーにワンタッチで装着できます。

■CHECK-AND-GOTEM試料を確実に作製するためには、作製した試料をその場でチェックできることが重要です。JIB-PS500iでは、TEM試料作製からシームレスにSTEM観察に移行できます。薄片加工⇔STEM観察の繰り返しにより、納得のいく試料作製が行えます。

■AUTOMATIC PREPARATION自動TEM試料作製システムSTEMPLING2により、TEM試料作製を自動化します。自動で試料作製を行うので、オペレータースキルによる品質のばらつきがありません。

■Signal detection system標準装備のSED、UED、iBEDを含み複数の検出器を用意。用途に応じて最適な検出器を選択することで、様々な試料に対して効果的な観察が可能です。

■High resolution SEM imagingSEM 鏡筒に新開発のスーパーコニカルレンズシステムを搭載したことにより低加速電圧の観察性能が大きく向上しました。薄片加工の終点確認用SEMとして、加工終点を見逃さないコントラストの良い鮮明な像を取得できます。

■SEM imaging of FIB-prepared cross section超小型・薄型のリトラクタブル反射電子検出器RBEDは、ステージ傾斜時でも使用可能です。試料表面の観察のみらならず、傾斜観察が必要なFIB断面の観察においても、二次電子検出器SED、上方検出器UEDと合わせて、さまざまな検出器で最適なSEM観察が行えます。

■EDS integration software本体制御ソフトウェアにEDS 分析機能を組込みました。試料の元素分析がソフトウェアの切り替えなしに行えます。 (日本電子社製EDS搭載時のみ可能です。)

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
集束イオンビーム加工観察装置 JIB-PS500i FIB-SEMシステム

取扱企業
コスモトレーディング株式会社

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2024年10月4日にレビュー済み

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集束イオンビーム加工観察装置 JIB-PS500i FIB-SEMシステム品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	SEM 像分解能	SEM 倍率	SEM 入射電圧	SEM ビーム電流	SEM 試料バイアス電圧	SEM 電子銃	SEM 開き角最適化レンズ (ALC)	SEM 対物レンズ	SEM 長焦点距離 (LDF) モード	SEM 標準検出器	FIB 像分解能	FIB 倍率	FIB 加速電圧	FIB ビーム電流	FIB 可動絞り	FIB イオン源	FIB 加工形状	試料ステージ方式	試料ステージ制御	試料ステージ試料移動範囲
	JIB-PS500i	要見積もり	0.7 nm (15 kV) 1.4 nm (1 kV) 1.0 nm (1 kV、BD モード)	×50 ~ ×1,000,000 (STD モード) ×1,000 ~ ×1,000,000 (UHR モード) ×10 ~ ×19,000 (LDF モード)	0.01 ~30 kV	約1 pA~500 nA以上	0.0 ~- 5.0 kV	インレンズショットキーPlus 電界放出電子銃	組込み	スーパーコニカルレンズ	組込み	二次電子検出器 (SED) 、上方電子検出器 (UED) 、インレンズ反射電子検出器 (iBED)	3 nm (30 kV 時)	×50 ~ ×300,000 (加速電圧により制限あり)	0.5 ~30 kV	1.0 pA ~100 nA、 13段階切り替え (30 kV)	モーター駆動16段切り替え (内、3段は予備)	Ga 液体金属イオン源	矩形、円、多角形、点、線、ビットマップ図形	フルユーセントリックゴニオメーターステージ	コンピューター制御 5軸モーター駆動 3D 干渉判定 AVERT Engine	X：130 mm Y：130 mm Z：1.0 mm ~40 mm T：- 40.0 ~93.0° R：360.0°エンドレス

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会社概要

コスモトレーディングは、日本のモノづくりを支える分析装置に特化した専門商社です。
モノづくりに欠かせない「研究開発・製造・品質保証」の活動において、観察・計測・分析装置を通じて最先端の技術を提供します。
...

本社所在地: 大阪府

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■AUTOMATIC PREPARATION

■Signal detection system

■High resolution SEM imaging

■SEM imaging of FIB-prepared cross section

■EDS integration software

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