半導体用圧力調整器 一次側低圧用標準機種 TORR-30シリーズ
日酸TANAKA株式会社
この製品について
■特徴
・TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 ・組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 ・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 ・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 ・電解研磨仕様品の製作も可能です。 (接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm) ・TORR-30シリーズは一次低圧用の標準機種としてバルブボックスや室内への配管の立ち下ろしなど、減圧後の設備に幅広くお使いいただけます。 使用材質■接ガス部
・本体：SUS316L ・ダイヤフラム：SUS316L ・フィルター：SUS316 ・圧力計：SUS316L ・継手：SUS316 (ネジ式接続) 、SUS316L (溶接接続) ・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂■非接ガス部
・キャップ：C3771 ・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604■性能
・入口側最高使用圧：5MPa ・出口側最高使用圧：1.0MPa ・最大流量：300L/min (nor () P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) ・使用温度：-5~40°C ・重量：1.1kg ・内蔵フィルター濾過度：20μm ・出入口ポート口径：1/4" ・外部リーク量：1.3×10-9Pa・m3/sec以下 (ネジ式接続) 、1.3×10-10Pa・m3/sec以下 (溶接接続) ※他にも品番がございます。-
シリーズ
半導体用圧力調整器 一次側低圧用標準機種 TORR-30シリーズ
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取扱企業
日酸TANAKA株式会社
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カテゴリ
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半導体用圧力調整器 一次側低圧用標準機種 TORR-30シリーズ 品番10件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ポート数 | 構造 | 二次側圧力計 (最高使用圧力) | 継手種類・形状1 | 継手種類・形状2 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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TORR-30-3W-A006-4UF4UF |
要見積もり | 3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート) | 溶接接続 | -0.1~0.6MPa (0.4MPa) | 1/4" UJR継手 メス | 1/4" UJR継手 メス | |
TORR-30-3W-A003-4UF4UF |
要見積もり | 3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート) | 溶接接続 | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 1/4" UJR継手 メス | 1/4" UJR継手 メス | ||
TORR-30-3W-A010-4UF4UF |
要見積もり | 3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート) | 溶接接続 | -0.1~1.0MPa (0.7MPa) | 1/4" UJR継手 メス | 1/4" UJR継手 メス | ||
TORR-30-3W-A015-4UF4UF |
要見積もり | 3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート) | 溶接接続 | -0.1~1.5MPa (1.0MPa) | 1/4" UJR継手 メス | 1/4" UJR継手 メス | ||
TORR-30-3W-A006-4VF4VF |
要見積もり | 3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート) | 溶接接続 | -0.1~0.6MPa (0.4MPa) | 1/4" VCR継手 メス | 1/4" VCR継手 メス | ||
TORR-30-3W-A003-4VF4VF |
要見積もり | 3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート) | 溶接接続 | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 1/4" VCR継手 メス | 1/4" VCR継手 メス | ||
TORR-30-3W-A010-4VF4VF |
要見積もり | 3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート) | 溶接接続 | -0.1~1.0MPa (0.7MPa) | 1/4" VCR継手 メス | 1/4" VCR継手 メス | ||
TORR-30-3W-A015-4VF4VF |
要見積もり | 3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート) | 溶接接続 | -0.1~1.5MPa (1.0MPa) | 1/4" VCR継手 メス | 1/4" VCR継手 メス | ||
TORR-30-3W-A006-4CF4CF |
要見積もり | 3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート) | 溶接接続 | -0.1~0.6MPa (0.4MPa) | 1/4" CVC継手 メス | 1/4" CVC継手 メス | ||
TORR-30-3W-A003-4CF4CF |
要見積もり | 3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート) | 溶接接続 | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 1/4" CVC継手 メス | 1/4" CVC継手 メス |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
