半導体用圧力調整器一次側低圧用標準機種 TORR-30シリーズ-TORR-30-3W-A006-4UF4UF

半導体用圧力調整器一次側低圧用標準機種 TORR-30シリーズ
日酸TANAKA株式会社

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この製品について

■特徴・TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。
・組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。
・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 
・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 
・電解研磨仕様品の製作も可能です。 (接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm) 
・TORR-30シリーズは一次低圧用の標準機種としてバルブボックスや室内への配管の立ち下ろしなど、減圧後の設備に幅広くお使いいただけます。

使用材質
■接ガス部・本体：SUS316L
・ダイヤフラム：SUS316L
・フィルター：SUS316
・圧力計：SUS316L
・継手：SUS316 (ネジ式接続) 、SUS316L (溶接接続) 
・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂

■非接ガス部・キャップ：C3771
・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604

■性能・入口側最高使用圧：5MPa
・出口側最高使用圧：1.0MPa
・最大流量：300L/min (nor () P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) 
・使用温度：-5~40°C
・重量：1.1kg
・内蔵フィルター濾過度：20μm
・出入口ポート口径：1/4"
・外部リーク量：1.3×10-9Pa・m3/sec以下 (ネジ式接続) 、1.3×10-10Pa・m3/sec以下 (溶接接続) 

※他にも品番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
半導体用圧力調整器一次側低圧用標準機種 TORR-30シリーズ

取扱企業
日酸TANAKA株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

圧力調整器

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半導体用圧力調整器一次側低圧用標準機種 TORR-30シリーズ品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	ポート数	構造	二次側圧力計 (最高使用圧力) -0.1~0.6MPa (0.4MPa) -0.1~0.3MPa (0.2MPa) -0.1~1.0MPa (0.7MPa) -0.1~1.5MPa (1.0MPa)	継手種類・形状1 1/4" UJR継手メス 1/4" VCR継手メス 1/4" CVC継手メス	継手種類・形状2 1/4" UJR継手メス 1/4" VCR継手メス 1/4" CVC継手メス
TORR-30-3W-A006-4UF4UF	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	溶接接続	-0.1~0.6MPa (0.4MPa)	1/4" UJR継手メス	1/4" UJR継手メス
TORR-30-3W-A003-4UF4UF	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	溶接接続	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	1/4" UJR継手メス	1/4" UJR継手メス
TORR-30-3W-A010-4UF4UF	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	溶接接続	-0.1~1.0MPa (0.7MPa)	1/4" UJR継手メス	1/4" UJR継手メス
TORR-30-3W-A015-4UF4UF	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	溶接接続	-0.1~1.5MPa (1.0MPa)	1/4" UJR継手メス	1/4" UJR継手メス
TORR-30-3W-A006-4VF4VF	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	溶接接続	-0.1~0.6MPa (0.4MPa)	1/4" VCR継手メス	1/4" VCR継手メス
TORR-30-3W-A003-4VF4VF	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	溶接接続	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	1/4" VCR継手メス	1/4" VCR継手メス
TORR-30-3W-A010-4VF4VF	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	溶接接続	-0.1~1.0MPa (0.7MPa)	1/4" VCR継手メス	1/4" VCR継手メス
TORR-30-3W-A015-4VF4VF	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	溶接接続	-0.1~1.5MPa (1.0MPa)	1/4" VCR継手メス	1/4" VCR継手メス
TORR-30-3W-A006-4CF4CF	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	溶接接続	-0.1~0.6MPa (0.4MPa)	1/4" CVC継手メス	1/4" CVC継手メス
TORR-30-3W-A003-4CF4CF	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	溶接接続	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	1/4" CVC継手メス	1/4" CVC継手メス