半導体用圧力調整器ジボラン専用二段減圧式機種 S-TORRV1900シリーズ-STV1900-4WE-B5G10G-4UB4UB-D

半導体用圧力調整器ジボラン専用二段減圧式機種 S-TORRV1900シリーズ
日酸TANAKA株式会社

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この製品について

■特徴・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。
・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。
・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。
・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。
・STV1900シリーズは内部リークを抑えるため、最もデカボランの生成しづらい最適な中間圧に設計されたジボラン専用圧力調整器です。

使用材質
■接ガス部・本体：SUS316L
・ダイヤフラム：SUS316L
・フィルター：SUS316
・圧力計：SUS316L
・継手：SUS316L
・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂

■非接ガス部・キャップ：C3604
・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604

※他にも品番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
半導体用圧力調整器ジボラン専用二段減圧式機種 S-TORRV1900シリーズ

取扱企業
日酸TANAKA株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

圧力調整器

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使用用途: 半導体製造

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	商品画像	品番	価格 (税抜)	ポート数	接ガス金属表面粗さ	圧力計有無1 圧力計付 1/4"UJRメス圧力計無プラグ止未加工	二次側圧力計 (最高使用圧力) -0.1~1.0MPa (0.6MPa) -0.1~0.6MPa (0.4MPa) -0.1~0.3MPa (0.2MPa)	圧力計有無2 圧力計付 1/4"UJRメス圧力計無プラグ止未加工	継手種類・形状1	継手種類・形状2
		STV1900-4WE-B5G10G-4UB4UB-D	要見積もり	4ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	圧力計付	-0.1~1.0MPa (0.6MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)