半導体用圧力調整器 液化ガス用タイドダイヤフラム式機種 S-TORRVT50シリーズ
日酸TANAKA株式会社
この製品について
■特徴
・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 ・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。 ・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。 ・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 ・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 ・STVT50シリーズはタイドダイヤフラム式を採用し、液化ガスの供給に強い構造となっております。 ・接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。 ・加温供給を行うことで、蒸気圧が1.0MPa以上になるガスについても対応可能。最高使用圧力2.5MPa。 ・腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用したSHシリーズをご用意しています。 使用材質■接ガス部
・本体:SUS316L ・ダイヤフラム：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STVT50SH) ・フィルター：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STVT50SH) ・圧力計：SUS316L ・継手：SUS316L ・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂 / Ni-Cr-Mo合金、SUS316L、フッ素樹脂 (STV50SH)■非接ガス部
・キャップ：C3604 ・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604■性能
・入口側最高使用圧:2.5MPa出口側最高使用圧:0.6MPa ・最大流量：220L/min (nor) (P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) ・使用温度：-5~40°C ・重量：1.8kg (2ポート) 、2.0kg (3ポート) ・内蔵フィルター濾過度：20μm / 10μm (STVT50SH) ・接ガス金属部面粗さ：Ra0.25μm (オプション:Ra0.1μm) 出入口ポート口径:1/4" ・外部リーク量：1.3×10-11Pa・m3/sec以下-
シリーズ
半導体用圧力調整器 液化ガス用タイドダイヤフラム式機種 S-TORRVT50シリーズ
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取扱企業
日酸TANAKA株式会社
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半導体用圧力調整器 液化ガス用タイドダイヤフラム式機種 S-TORRVT50シリーズ 品番10件
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