半導体用圧力調整器液化ガス用タイドダイヤフラム式機種 S-TORRVT50シリーズ-STVT50-3WE-50X06G-4UB4UB-T

半導体用圧力調整器液化ガス用タイドダイヤフラム式機種 S-TORRVT50シリーズ
日酸TANAKA株式会社

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この製品について

■特徴・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。
・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。
・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。
・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。
・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。
・STVT50シリーズはタイドダイヤフラム式を採用し、液化ガスの供給に強い構造となっております。
・接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。
・加温供給を行うことで、蒸気圧が1.0MPa以上になるガスについても対応可能。最高使用圧力2.5MPa。
・腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用したSHシリーズをご用意しています。

使用材質
■接ガス部・本体:SUS316L
・ダイヤフラム：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STVT50SH) 
・フィルター：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STVT50SH) 
・圧力計：SUS316L
・継手：SUS316L
・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂 / Ni-Cr-Mo合金、SUS316L、フッ素樹脂 (STV50SH) 

■非接ガス部・キャップ：C3604
・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604

■性能・入口側最高使用圧:2.5MPa出口側最高使用圧:0.6MPa
・最大流量：220L/min (nor) (P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) 
・使用温度：-5~40°C
・重量：1.8kg (2ポート) 、2.0kg (3ポート) 
・内蔵フィルター濾過度：20μm / 10μm (STVT50SH) 
・接ガス金属部面粗さ：Ra0.25μm (オプション:Ra0.1μm) 出入口ポート口径:1/4"
・外部リーク量：1.3×10-11Pa・m3/sec以下

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
半導体用圧力調整器液化ガス用タイドダイヤフラム式機種 S-TORRVT50シリーズ

取扱企業
日酸TANAKA株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

圧力調整器

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お客様からメーカーに対して問い合わせ・見積もり依頼を行うと、内容がメーカーに通知されます。
2

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メーカーの対応が遅い場合、メトリーがお客様に代わって催促のメール・電話を実施します。
3

直接やり取り

お客様にメーカーからメールにて回答が届き、お客様とメーカーで直接やり取りを行います。

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ワンクリックでまとめて問い合わせができるため、各メーカーのホームページで同じ内容をフォームに入力する手間を省くことができます。
お客様の代わりに催促

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返答率は96%以上

メトリーがお客様に代わって、メーカーに催促の電話を実施すること、さらに、返答率がメトリー上に表示されるため、メーカー公式サイトから問い合わせに比べて返答率が格段に高いです。
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メトリーは一部企業からの広告宣伝費によって運営されているため、ご利用には一切費用がかかりません。手数料等のマージンも頂いておりませんので、安心してご利用ください。
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メトリーは産業用製品の選定・取引をよりスムーズにするためのサービスです。多くの企業にご賛同いただき、5,000社以上のメーカー・代理店がメトリーに登録しています。
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京セラ株式会社アルプスアルパイン株式会社パナソニックインダストリー株式会社安川電機株式会社マクニカ富士ソフト株式会社ダイキン工業株式会社旭化成株式会社他5,000社以上
幅広い業種の方々にご利用頂いております

大手企業・中小企業・研究機関等の、エンジニア・研究者・購買担当者など幅広い方々にご利用頂いております。

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■特徴

■接ガス部

■非接ガス部

■性能

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