半導体用圧力調整器 負圧制御、低蒸気圧用機種 S-TORRVA10シリーズ
日酸TANAKA株式会社
この製品について
■特徴
・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器 をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 ・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。 ・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。 ・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 ・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 ・STVA10シリーズは負圧制御に対応し、低蒸気圧の液化ガスを負圧供給するシリン ダーキャビネットで使用可能です。 ・接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。 ・タイドダイヤフラム式を採用しております。 ・腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用したSHシリ ーズをご用意しています。 使用材質■接ガス部
・本体：SUS316L ・ダイヤフラム：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STVA10SH) ・フィルター：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STVA10SH) ・圧力計：SUS316L ・継手：SUS316L ・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂 / Ni-Cr-Mo合金、SUS316L、フッ素樹脂 (STVA10SH)■非接ガス部
・キャップ：C3604 ・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604 ※他にも品番がございます。-
シリーズ
半導体用圧力調整器 負圧制御、低蒸気圧用機種 S-TORRVA10シリーズ
-
取扱企業
日酸TANAKA株式会社
-
カテゴリ
圧力調整器注目ランキング
もっと見る
圧力調整器の製品352点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
まとめて見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%以上
96%以上の方が返答を受け取っています
圧力調整器注目ランキング (対応の早い企業)
平均返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
まとめて見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%以上
96%以上の方が返答を受け取っています
半導体用圧力調整器 負圧制御、低蒸気圧用機種 S-TORRVA10シリーズ 品番10件
各品番毎の詳細は品番をクリックしてください
| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ポート数 | 接ガス金属表面粗さ | 圧力計有無 | 継手種類 形状1 | 継手種類 形状2 | ガス別樹脂記号 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
STVA10-3WE-15X03G-4UBUB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | |
STVA10-3WE-15X03X-4UBUB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 未加工 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03F-4UBUB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 1/4"UJRメス | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03B-4UBUB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03G-4UFUF-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 圧力計付 | 1/4" UJR継手メス | 1/4" UJR継手メス | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03X-4UFUF-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 未加工 | 1/4" UJR継手メス | 1/4" UJR継手メス | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03F-4UFUF-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 1/4"UJRメス | 1/4" UJR継手メス | 1/4" UJR継手メス | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03B-4UFUF-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 圧力計付 | 1/4" UJR継手メス | 1/4" UJR継手メス | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03G-4VFVF-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 圧力計付 | 1/4" VCR継手メス | 1/4" VCR継手メス | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03X-4VFVF-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 未加工 | 1/4" VCR継手メス | 1/4" VCR継手メス | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
