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半導体用圧力調整器 負圧制御、低蒸気圧用機種 S-TORRVA10シリーズ取扱企業
日酸TANAKA株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ポート数 | 接ガス金属表面粗さ | 圧力計有無 | 継手種類 形状1 | 継手種類 形状2 | ガス別樹脂記号 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
STVA10-3WE-15X03G-4UBUB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | |
STVA10-3WE-15X03X-4UBUB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 未加工 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03F-4UBUB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 1/4"UJRメス | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03B-4UBUB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03G-4UFUF-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 圧力計付 | 1/4" UJR継手メス | 1/4" UJR継手メス | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03X-4UFUF-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 未加工 | 1/4" UJR継手メス | 1/4" UJR継手メス | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03F-4UFUF-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 1/4"UJRメス | 1/4" UJR継手メス | 1/4" UJR継手メス | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03B-4UFUF-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 圧力計付 | 1/4" UJR継手メス | 1/4" UJR継手メス | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03G-4VFVF-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 圧力計付 | 1/4" VCR継手メス | 1/4" VCR継手メス | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス | ||
STVA10-3WE-15X03X-4VFVF-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 未加工 | 1/4" VCR継手メス | 1/4" VCR継手メス | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス |
