半導体用圧力調整器負圧制御、低蒸気圧用機種 S-TORRVA10シリーズ-STVA10-3WE-15X03G-4UBUB-F

半導体用圧力調整器負圧制御、低蒸気圧用機種 S-TORRVA10シリーズ
日酸TANAKA株式会社

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この製品について

■特徴・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器 をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。
・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。
・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。
・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。
・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。
・STVA10シリーズは負圧制御に対応し、低蒸気圧の液化ガスを負圧供給するシリン ダーキャビネットで使用可能です。
・接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。
・タイドダイヤフラム式を採用しております。
・腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用したSHシリ ーズをご用意しています。

使用材質
■接ガス部・本体：SUS316L
・ダイヤフラム：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STVA10SH) 
・フィルター：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STVA10SH) 
・圧力計：SUS316L
・継手：SUS316L
・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂 / Ni-Cr-Mo合金、SUS316L、フッ素樹脂 (STVA10SH) 

■非接ガス部・キャップ：C3604
・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604

※他にも品番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
半導体用圧力調整器負圧制御、低蒸気圧用機種 S-TORRVA10シリーズ

取扱企業
日酸TANAKA株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

圧力調整器

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半導体用圧力調整器負圧制御、低蒸気圧用機種 S-TORRVA10シリーズ品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	ポート数	接ガス金属表面粗さ	圧力計有無圧力計付未加工 1/4"UJRメス	継手種類形状1 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) 1/4" UJR継手メス 1/4" VCR継手メス	継手種類形状2 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) 1/4" UJR継手メス 1/4" VCR継手メス	ガス別樹脂記号
STVA10-3WE-15X03G-4UBUB-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	0.25μm	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス
STVA10-3WE-15X03X-4UBUB-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	0.25μm	未加工	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス
STVA10-3WE-15X03F-4UBUB-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	0.25μm	1/4"UJRメス	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス
STVA10-3WE-15X03B-4UBUB-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	0.25μm	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス
STVA10-3WE-15X03G-4UFUF-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	0.25μm	圧力計付	1/4" UJR継手メス	1/4" UJR継手メス	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス
STVA10-3WE-15X03X-4UFUF-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	0.25μm	未加工	1/4" UJR継手メス	1/4" UJR継手メス	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス
STVA10-3WE-15X03F-4UFUF-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	0.25μm	1/4"UJRメス	1/4" UJR継手メス	1/4" UJR継手メス	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス
STVA10-3WE-15X03B-4UFUF-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	0.25μm	圧力計付	1/4" UJR継手メス	1/4" UJR継手メス	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス
STVA10-3WE-15X03G-4VFVF-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	0.25μm	圧力計付	1/4" VCR継手メス	1/4" VCR継手メス	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス
STVA10-3WE-15X03X-4VFVF-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	0.25μm	未加工	1/4" VCR継手メス	1/4" VCR継手メス	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2 WF6のいずれかを含むガス