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シリーズ
半導体用圧力調整器 腐食性ガス用機種 S-TORRV2300SH / 2300AHシリーズ取扱企業
日酸TANAKA株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ポート数 | 接ガス金属表面粗さ | 一次側圧力計 (最高使用圧力) | 一次側圧力計有無 | 二次側圧力計 (最高使用圧力) | 二次側圧力計有無 | 継手種類 形状1 | 継手種類 形状2 | ガス別樹脂記号 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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STV2300SH-3WE-15X10G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | -0.1~1.5MPa (1.0MPa) | 未加工 | -01.~10.MPa (06.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | |
STV2300SH-3WE-03X10G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 未加工 | -01.~10.MPa (06.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
STV2300SH-3WE-06X10G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | -0.1~0.6MPa (0.4MPa) | 未加工 | -01.~10.MPa (06.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
STV2300SH-3WE-10X10G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | -0.1~1.0MPa (0.6MPa) | 未加工 | -01.~10.MPa (06.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
STV2300SH-3WE-50X10G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 0~5MPa (3.0MPa) | 未加工 | -01.~10.MPa (06.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
STV2300SH-3WE-A0X10G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 0~10MPa (6.0MPa) | 未加工 | -01.~10.MPa (06.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
STV2300SH-3WE-B5X10G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 0~25MPa (15.0MPa) | 未加工 | -01.~10.MPa (06.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
STV2300SH-3WE-15X06G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | -0.1~1.5MPa (1.0MPa) | 未加工 | -01.~06.MPa (04.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
STV2300SH-3WE-03X06G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 未加工 | -01.~06.MPa (04.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
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STV2300SH-4WE-B5G06G-4UB4UB-D |
要見積もり |
4ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 0~25MPa (15.0MPa) | 圧力計付 | -01.~06.MPa (04.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 樹脂材質PCTFE |
