半導体用圧力調整器 腐食性ガス用機種 S-TORRV2300SH / 2300AHシリーズ
日酸TANAKA株式会社
この製品について
■特徴
・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 ・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。 ・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。 ・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 ・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 ・STV2300SHシリーズは要部部品と呼ばれる腐食性ガスの影響が特に大きい部品に、STV2300AHシリーズは調整器本体の接ガス金属部すべてに耐食性の高いNi-Cr-Mo合金を採用しております。 使用素材■接ガス部
・本体：SUS316L (2300SHシリーズ) 、Ni-Cr-Mo合金 (2300AHシリーズ) ・ダイヤフラム：Ni-Cr-Mo合金 ・フィルター：Ni-Cr-Mo合金 ・圧力計：SUS316L ・継手：SUS316L (2300SHシリーズ) 、Ni-Cr-Mo合金 (2300AHシリーズ) ・その他接ガス部：Ni-Cr-Mo合金、SUS316L、フッ素樹脂 (2300SHシリーズ) 、Ni-Cr-Mo合金、フッ素樹脂 (2300AHシリーズ)■非接ガス部
・キャップ：C3604 ・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604■性能
・入口側最高使用圧：15MPa ・出口側最高使用圧：1.0MPa ・最大流量：10L/min (nor) (P1=0.6MPa、P2=0.1~0.4MPa、Cl2 GAS) 、35L/min (nor) (P1=4.5MPa、P2=0.1~0.4MPa、HCl GAS) 、400L/min (nor) (P1=10MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS) ・使用温度：-5~40°C ・重量：1.7kg (2ポート) 、2.1kg (4ポート) ・内蔵フィルター濾過度：10μm ・接ガス金属部面粗さ：Ra0.25μm ・出入口ポート口径：1/4" ・外部リーク量：1.3×10-11Pa・m3/sec以下 ※他にも品番がございます。-
シリーズ
半導体用圧力調整器 腐食性ガス用機種 S-TORRV2300SH / 2300AHシリーズ
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取扱企業
日酸TANAKA株式会社
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カテゴリ
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半導体用圧力調整器 腐食性ガス用機種 S-TORRV2300SH / 2300AHシリーズ 品番10件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ポート数 | 接ガス金属表面粗さ | 一次側圧力計 (最高使用圧力) | 一次側圧力計有無 | 二次側圧力計 (最高使用圧力) | 二次側圧力計有無 | 継手種類 形状1 | 継手種類 形状2 | ガス別樹脂記号 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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STV2300SH-3WE-15X10G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | -0.1~1.5MPa (1.0MPa) | 未加工 | -01.~10.MPa (06.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | |
STV2300SH-3WE-03X10G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 未加工 | -01.~10.MPa (06.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
STV2300SH-3WE-06X10G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | -0.1~0.6MPa (0.4MPa) | 未加工 | -01.~10.MPa (06.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
STV2300SH-3WE-10X10G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | -0.1~1.0MPa (0.6MPa) | 未加工 | -01.~10.MPa (06.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
STV2300SH-3WE-50X10G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 0~5MPa (3.0MPa) | 未加工 | -01.~10.MPa (06.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
STV2300SH-3WE-A0X10G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 0~10MPa (6.0MPa) | 未加工 | -01.~10.MPa (06.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
STV2300SH-3WE-B5X10G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 0~25MPa (15.0MPa) | 未加工 | -01.~10.MPa (06.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
STV2300SH-3WE-15X06G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | -0.1~1.5MPa (1.0MPa) | 未加工 | -01.~06.MPa (04.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
STV2300SH-3WE-03X06G-4UB4UB-F |
要見積もり |
3ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 未加工 | -01.~06.MPa (04.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス | ||
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STV2300SH-4WE-B5G06G-4UB4UB-D |
要見積もり |
4ポート (入口、出口、 一次側圧力計、二次側圧力計ポート) |
0.25μm | 0~25MPa (15.0MPa) | 圧力計付 | -01.~06.MPa (04.MPa) | 圧力計付 | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 1/4" UJRメスナット (ピュアリング付) | 樹脂材質PCTFE |
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