半導体用圧力調整器腐食性ガス用機種 S-TORRV2300SH / 2300AHシリーズ-STV2300SH-3WE-15X10G-4UB4UB-F

半導体用圧力調整器腐食性ガス用機種 S-TORRV2300SH / 2300AHシリーズ-STV2300SH-4WE-B5G06G-4UB4UB-D

半導体用圧力調整器腐食性ガス用機種 S-TORRV2300SH / 2300AHシリーズ-日酸TANAKA株式会社

半導体用圧力調整器腐食性ガス用機種 S-TORRV2300SH / 2300AHシリーズ
日酸TANAKA株式会社

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この製品について

■特徴・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。
・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。
・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。
・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。
・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。
・STV2300SHシリーズは要部部品と呼ばれる腐食性ガスの影響が特に大きい部品に、STV2300AHシリーズは調整器本体の接ガス金属部すべてに耐食性の高いNi-Cr-Mo合金を採用しております。

使用素材
■接ガス部・本体：SUS316L (2300SHシリーズ) 、Ni-Cr-Mo合金 (2300AHシリーズ) 
・ダイヤフラム：Ni-Cr-Mo合金
・フィルター：Ni-Cr-Mo合金
・圧力計：SUS316L
・継手：SUS316L (2300SHシリーズ) 、Ni-Cr-Mo合金 (2300AHシリーズ) 
・その他接ガス部：Ni-Cr-Mo合金、SUS316L、フッ素樹脂 (2300SHシリーズ) 、Ni-Cr-Mo合金、フッ素樹脂 (2300AHシリーズ) 

■非接ガス部 ・キャップ：C3604
・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604

■性能・入口側最高使用圧：15MPa
・出口側最高使用圧：1.0MPa
・最大流量：10L/min (nor) (P1=0.6MPa、P2=0.1~0.4MPa、Cl2 GAS) 、35L/min (nor) (P1=4.5MPa、P2=0.1~0.4MPa、HCl GAS) 、400L/min (nor) (P1=10MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS) 
・使用温度：-5~40°C
・重量：1.7kg (2ポート) 、2.1kg (4ポート) 
・内蔵フィルター濾過度：10μm
・接ガス金属部面粗さ：Ra0.25μm
・出入口ポート口径：1/4"
・外部リーク量：1.3×10-11Pa・m3/sec以下

※他にも品番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
半導体用圧力調整器腐食性ガス用機種 S-TORRV2300SH / 2300AHシリーズ

取扱企業
日酸TANAKA株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

圧力調整器

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半導体用圧力調整器腐食性ガス用機種 S-TORRV2300SH / 2300AHシリーズ品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	ポート数 3ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート) 4ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	接ガス金属表面粗さ	一次側圧力計 (最高使用圧力) -0.1~1.5MPa (1.0MPa) -0.1~0.3MPa (0.2MPa) -0.1~0.6MPa (0.4MPa) -0.1~1.0MPa (0.6MPa) 0~5MPa (3.0MPa) 0~10MPa (6.0MPa) 0~25MPa (15.0MPa)	一次側圧力計有無未加工圧力計付	二次側圧力計 (最高使用圧力) -01.~10.MPa (06.MPa) -01.~06.MPa (04.MPa)	二次側圧力計有無	継手種類形状1	継手種類形状2	ガス別樹脂記号 Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス樹脂材質PCTFE
STV2300SH-3WE-15X10G-4UB4UB-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	-0.1~1.5MPa (1.0MPa)	未加工	-01.~10.MPa (06.MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス
STV2300SH-3WE-03X10G-4UB4UB-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	未加工	-01.~10.MPa (06.MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス
STV2300SH-3WE-06X10G-4UB4UB-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	-0.1~0.6MPa (0.4MPa)	未加工	-01.~10.MPa (06.MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス
STV2300SH-3WE-10X10G-4UB4UB-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	-0.1~1.0MPa (0.6MPa)	未加工	-01.~10.MPa (06.MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス
STV2300SH-3WE-50X10G-4UB4UB-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	0~5MPa (3.0MPa)	未加工	-01.~10.MPa (06.MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス
STV2300SH-3WE-A0X10G-4UB4UB-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	0~10MPa (6.0MPa)	未加工	-01.~10.MPa (06.MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス
STV2300SH-3WE-B5X10G-4UB4UB-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	0~25MPa (15.0MPa)	未加工	-01.~10.MPa (06.MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス
STV2300SH-3WE-15X06G-4UB4UB-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	-0.1~1.5MPa (1.0MPa)	未加工	-01.~06.MPa (04.MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス
STV2300SH-3WE-03X06G-4UB4UB-F	要見積もり	3ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	未加工	-01.~06.MPa (04.MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス
STV2300SH-4WE-B5G06G-4UB4UB-D	要見積もり	4ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	0~25MPa (15.0MPa)	圧力計付	-01.~06.MPa (04.MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	樹脂材質PCTFE