半導体用圧力調整器一次側高圧用中流量機種 S-TORRV2300シリーズ-STV2300-4WE-B5G03G-4UB4UB-D

半導体用圧力調整器一次側高圧用中流量機種 S-TORRV2300シリーズ
日酸TANAKA株式会社

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この製品について

■特徴・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。
・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。
・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。
・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。
・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。
・STV2300シリーズは一次高圧用の中流量機種としてシリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に広くご使用いただいております。
・腐食性ガス用として高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用したSHシリーズがございます。

使用材質
■接ガス部・本体：SUS316L
・ダイヤフラム：SUS316L
・フィルター：SUS316L
・圧力計：SUS316L
・継手：SUS316L
・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂

■非接ガス部・キャップ：C3604
・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604

■性能・入口側最高使用圧：15MPa
・出口側最高使用圧：1.0MPa
・最大流量：400L/min (nor) (P1=10MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS) 
・使用温度：-5~40°C
・重量：1.7kg (2ポート) 、2.1kg (4ポート) 
・内蔵フィルター濾過度：20μm
・接ガス金属部面粗さ：Ra0.25μm
・出入口ポート口径：1/4"
・外部リーク量：1.3×10-11Pa・m3/sec以下

※他にも品番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
半導体用圧力調整器一次側高圧用中流量機種 S-TORRV2300シリーズ

取扱企業
日酸TANAKA株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

圧力調整器

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半導体用圧力調整器一次側高圧用中流量機種 S-TORRV2300シリーズ品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	ポート数	接ガス金属表面粗さ	一次側圧力計 (最高使用圧力) 0~5MPa (3.0MPa) 0~10MPa (6.0MPa) 0~25MPa (15.0MPa)	一次側圧力計有無	二次側圧力計 (最高使用圧力) -0.1~0.3MPa (0.2MPa) -0.1~0.6MPa (0.4MPa) -0.1~1.0MPa (0.6MPa) -0.1~1.5MPa (1.0MPa)	二次側圧力計有無	継手種類形状1	継手種類形状2	ガス別樹脂記号
STV2300-4WE-50G03G-4UB4UB-D	要見積もり	4ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	0~5MPa (3.0MPa)	圧力計付	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	樹脂材質PCTFE
STV2300-4WE-A0G03G-4UB4UB-D	要見積もり	4ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	0~10MPa (6.0MPa)	圧力計付	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	樹脂材質PCTFE
STV2300-4WE-B5G03G-4UB4UB-D	要見積もり	4ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	0~25MPa (15.0MPa)	圧力計付	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	樹脂材質PCTFE
STV2300-4WE-50G06G-4UB4UB-D	要見積もり	4ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	0~5MPa (3.0MPa)	圧力計付	-0.1~0.6MPa (0.4MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	樹脂材質PCTFE
STV2300-4WE-A0G06G-4UB4UB-D	要見積もり	4ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	0~10MPa (6.0MPa)	圧力計付	-0.1~0.6MPa (0.4MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	樹脂材質PCTFE
STV2300-4WE-B5G06G-4UB4UB-D	要見積もり	4ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	0~25MPa (15.0MPa)	圧力計付	-0.1~0.6MPa (0.4MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	樹脂材質PCTFE
STV2300-4WE-50G10G-4UB4UB-D	要見積もり	4ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	0~5MPa (3.0MPa)	圧力計付	-0.1~1.0MPa (0.6MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	樹脂材質PCTFE
STV2300-4WE-A0G10G-4UB4UB-D	要見積もり	4ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	0~10MPa (6.0MPa)	圧力計付	-0.1~1.0MPa (0.6MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	樹脂材質PCTFE
STV2300-4WE-B5G10G-4UB4UB-D	要見積もり	4ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	0~25MPa (15.0MPa)	圧力計付	-0.1~1.0MPa (0.6MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	樹脂材質PCTFE
STV2300-4WE-50G15G-4UB4UB-D	要見積もり	4ポート (入口、出口、一次側圧力計、二次側圧力計ポート)	0.25μm	0~5MPa (3.0MPa)	圧力計付	-0.1~1.5MPa (1.0MPa)	圧力計付	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	1/4" UJRメスナット (ピュアリング付)	樹脂材質PCTFE