半導体用圧力調整器一次側低圧用中流量機種 S-TORRV50 / 50SHシリーズ-STV50-3WE-30X03G-6UB6UB-T

半導体用圧力調整器一次側低圧用中流量機種 S-TORRV50 / 50SHシリーズ
日酸TANAKA株式会社

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この製品について

■特徴・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器 をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。
・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。
・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。
・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。
・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。
・STV50シリーズは一次低圧用の中流量機種としてSTV30よりも流量が求められる低圧配管やアウトレットパネル、液化ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用いただいております。
・腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用したSHシリーズをご用意しています。

使用材質
■接ガス部・本体：SUS316L
・ダイヤフラム：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STV50SH) 
・フィルター：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STV50SH) 
・圧力計：SUS316L
・継手：SUS316L
・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂 / Ni-Cr-Mo合金、 SUS316L、フッ素樹脂 (STV50SH) 

■非接ガス部・キャップ：C3604
・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604

■性能・入口側最高使用圧：1.5MPa
・出口側最高使用圧：0.6MPa
・最大流量：420L/min (nor () P1=0.7MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) 
・使用温度：-5~40°C
・重量：1.8kg (2ポート) 、2.0kg (3ポート) 
・内蔵フィルター濾過度：10μm
・接ガス金属部面粗さ：Ra0.25μm 
・出入口ポート口径：3/8"
・外部リーク量：1.3×10-11Pa・m3/sec以下

※他にも品番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
半導体用圧力調整器一次側低圧用中流量機種 S-TORRV50 / 50SHシリーズ

取扱企業
日酸TANAKA株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

圧力調整器

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半導体用圧力調整器一次側低圧用中流量機種 S-TORRV50 / 50SHシリーズ品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	ポート数 2ポート (入口、出口のみ) 3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	接ガス金属表面粗さ	二次側圧力計 (最高使用圧力) -0.1~0.3MPa (0.2MPa) -0.1~0.6MPa (0.4MPa) -0.1~1.0MPa (0.6MPa)	圧力計有無未加工圧力計付 1/4"UJRメス	継手種類・形状1 3/8" UJR継手メス 3/8" UJR継手 UJRメスナット (ピュアリング付)	継手種類・形状2 3/8" UJR継手メス 3/8" UJR継手 UJRメスナット (ピュアリング付)	ガス別樹脂記号
STV50-2WE-30X03X-6UF6UF-T	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	未加工	3/8" UJR継手メス	3/8" UJR継手メス	樹脂材質PTFE
STV50-2WE-30X06X-6UF6UF-T	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm	-0.1~0.6MPa (0.4MPa)	未加工	3/8" UJR継手メス	3/8" UJR継手メス	樹脂材質PTFE
STV50-2WE-30X10X-6UF6UF-T	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm	-0.1~1.0MPa (0.6MPa)	未加工	3/8" UJR継手メス	3/8" UJR継手メス	樹脂材質PTFE
STV50-2WE-30X03G-6UF6UF-T	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	圧力計付	3/8" UJR継手メス	3/8" UJR継手メス	樹脂材質PTFE
STV50-2WE-30X06G-6UF6UF-T	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm	-0.1~0.6MPa (0.4MPa)	圧力計付	3/8" UJR継手メス	3/8" UJR継手メス	樹脂材質PTFE
STV50-2WE-30X10G-6UF6UF-T	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm	-0.1~1.0MPa (0.6MPa)	圧力計付	3/8" UJR継手メス	3/8" UJR継手メス	樹脂材質PTFE
STV50-2WE-30X03F-6UF6UF-T	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	1/4"UJRメス	3/8" UJR継手メス	3/8" UJR継手メス	樹脂材質PTFE
STV50-2WE-30X06F-6UF6UF-T	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	1/4"UJRメス	3/8" UJR継手メス	3/8" UJR継手メス	樹脂材質PTFE
STV50-2WE-30X10F-6UF6UF-T	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	1/4"UJRメス	3/8" UJR継手メス	3/8" UJR継手メス	樹脂材質PTFE
STV50-3WE-30X03G-6UB6UB-T	要見積もり	3ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	0.25μm	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	圧力計付	3/8" UJR継手 UJRメスナット (ピュアリング付)	3/8" UJR継手 UJRメスナット (ピュアリング付)	樹脂材質PTFE