半導体用圧力調整器一次側低圧用標準機種 S-TORRV30 / 30SHシリーズ-STV30-3WE-30X03G-4UB4UB-T

半導体用圧力調整器一次側低圧用標準機種 S-TORRV30 / 30SHシリーズ
日酸TANAKA株式会社

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この製品について

85L/min (nor () P1=0.7MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) 

■特徴・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。
・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより非常に高い水分置 換特性、パーティクル低減を実現しております。
・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。
・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。
・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。
・STV30シリーズは一次低圧用の標準機種として低圧配管やアウトレットパネル、充填圧の低い圧縮ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用いただいており ます。
・腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用したSHシリーズをご用意しています。

■使用材質接ガス部
・本体：SUS316L
・ダイヤフラム：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STV30SH) 
・フィルター：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STV30SH) 
・圧力計：SUS316L
・継手：SUS316L
・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂 /Ni-Cr-Mo合金、SUS316L、フッ素樹脂 (STV30SH) 

非接ガス部
・キャップ：C6782
・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604

■性能・入口側最高使用圧：1.5MPa
・出口側最高使用圧：0.6MPa
・最大流量：85L/min (nor) ( P1=0.7MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) 
・使用温度：-5~40°C
・重量：1.2kg (2ポート) 、1.4kg (3ポート) 
・内蔵フィルター濾過度：10μm
・接ガス金属部面粗さ：Ra0.25μm (オプション:Ra0.1μm) 
・出入口ポート口径：1/4"
・外部リーク量：1.3×10-11Pa・m3/sec以下

※他にも品番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
半導体用圧力調整器一次側低圧用標準機種 S-TORRV30 / 30SHシリーズ

取扱企業
日酸TANAKA株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

圧力調整器

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半導体用圧力調整器一次側低圧用標準機種 S-TORRV30 / 30SHシリーズ品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	ポート数 2ポート (入口、出口のみ) 3 ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	接ガス金属表面粗さ	二次側圧力計 (最高使用圧力)	圧力計有無未加工圧力計付	サイズ	継手種類・形状1 UJR継手メス UJR継手 UJRメスナット (ピュアリング付)	継手種類・形状2 UJR継手メス UJR継手 UJRメスナット (ピュアリング付)	ガス別樹脂記号樹脂材質PTFE N2O混合ガス BCl3混合ガス Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガスフロン系ガス (C3F8、C4F6、C4F8、C5F8、ClF3、SF6)
STV30-2WE-30X03X-4UF4UF-T	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm (標準)	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	未加工	1/4" (標準)	UJR継手メス	UJR継手メス	樹脂材質PTFE
STV30-2WE-30X03X-4UF4UF-N	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm (標準)	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	未加工	1/4" (標準)	UJR継手メス	UJR継手メス	N2O混合ガス
STV30-2WE-30X03X-4UF4UF-A	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm (標準)	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	未加工	1/4" (標準)	UJR継手メス	UJR継手メス	BCl3混合ガス
STV30-2WE-30X03X-4UF4UF-F	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm (標準)	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	未加工	1/4" (標準)	UJR継手メス	UJR継手メス	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス
STV30-2WE-30X03X-4UF4UF-D	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm (標準)	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	未加工	1/4" (標準)	UJR継手メス	UJR継手メス	フロン系ガス (C3F8、C4F6、C4F8、C5F8、ClF3、SF6)
STV30-2WE-30X03G-4UF4UF-T	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm (標準)	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	圧力計付	1/4" (標準)	UJR継手メス	UJR継手メス	樹脂材質PTFE
STV30-2WE-30X03G-4UF4UF-N	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm (標準)	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	圧力計付	1/4" (標準)	UJR継手メス	UJR継手メス	N2O混合ガス
STV30-2WE-30X03G-4UF4UF-A	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm (標準)	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	圧力計付	1/4" (標準)	UJR継手メス	UJR継手メス	BCl3混合ガス
STV30-2WE-30X03G-4UF4UF-F	要見積もり	2ポート (入口、出口のみ)	0.25μm (標準)	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	圧力計付	1/4" (標準)	UJR継手メス	UJR継手メス	Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6のいずれかを含むガス
STV30-3WE-30X03G-4UB4UB-T	要見積もり	3 ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート)	0.25μm (標準)	-0.1~0.3MPa (0.2MPa)	圧力計付	1/4" (標準)	UJR継手 UJRメスナット (ピュアリング付)	UJR継手 UJRメスナット (ピュアリング付)	樹脂材質PTFE