半導体用圧力調整器 一次側低圧用標準機種 S-TORRV30 / 30SHシリーズ
日酸TANAKA株式会社
この製品について
■特徴
・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 ・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより非常に高い水分置 換特性、パーティクル低減を実現しております。 ・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。 ・一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 ・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 ・STV30シリーズは一次低圧用の標準機種として低圧配管やアウトレットパネル、充填圧の低い圧縮ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用いただいており ます。 ・腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用したSHシリーズをご用意しています。■使用材質
接ガス部 ・本体：SUS316L ・ダイヤフラム：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STV30SH) ・フィルター：SUS316L / Ni-Cr-Mo合金 (STV30SH) ・圧力計：SUS316L ・継手：SUS316L ・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂 /Ni-Cr-Mo合金、SUS316L、フッ素樹脂 (STV30SH) 非接ガス部 ・キャップ：C6782 ・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604■性能
・入口側最高使用圧：1.5MPa ・出口側最高使用圧：0.6MPa ・最大流量：85L/min (nor) ( P1=0.7MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS) ・使用温度：-5~40°C ・重量：1.2kg (2ポート) 、1.4kg (3ポート) ・内蔵フィルター濾過度：10μm ・接ガス金属部面粗さ：Ra0.25μm (オプション:Ra0.1μm) ・出入口ポート口径：1/4" ・外部リーク量：1.3×10-11Pa・m3/sec以下 ※他にも品番がございます。-
シリーズ
半導体用圧力調整器 一次側低圧用標準機種 S-TORRV30 / 30SHシリーズ
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取扱企業
日酸TANAKA株式会社
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半導体用圧力調整器 一次側低圧用標準機種 S-TORRV30 / 30SHシリーズ 品番10件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ポート数 | 接ガス金属表面粗さ | 二次側圧力計 (最高使用圧力) | 圧力計有無 | サイズ | 継手種類・形状1 | 継手種類・形状2 | ガス別樹脂記号 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
STV30-2WE-30X03X-4UF4UF-T |
要見積もり |
2ポート (入口、出口のみ) |
0.25μm (標準) | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 未加工 | 1/4" (標準) | UJR継手 メス | UJR継手 メス | 樹脂材質PTFE | ||
STV30-2WE-30X03X-4UF4UF-N |
要見積もり |
2ポート (入口、出口のみ) |
0.25μm (標準) | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 未加工 | 1/4" (標準) | UJR継手 メス | UJR継手 メス | N2O混合ガス | ||
STV30-2WE-30X03X-4UF4UF-A |
要見積もり |
2ポート (入口、出口のみ) |
0.25μm (標準) | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 未加工 | 1/4" (標準) | UJR継手 メス | UJR継手 メス | BCl3混合ガス | ||
STV30-2WE-30X03X-4UF4UF-F |
要見積もり |
2ポート (入口、出口のみ) |
0.25μm (標準) | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 未加工 | 1/4" (標準) | UJR継手 メス | UJR継手 メス |
Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6の いずれかを含むガス |
||
STV30-2WE-30X03X-4UF4UF-D |
要見積もり |
2ポート (入口、出口のみ) |
0.25μm (標準) | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 未加工 | 1/4" (標準) | UJR継手 メス | UJR継手 メス |
フロン系ガス (C3F8、C4F6、C4F8、C5F8、ClF3、SF6) |
||
STV30-2WE-30X03G-4UF4UF-T |
要見積もり |
2ポート (入口、出口のみ) |
0.25μm (標準) | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 圧力計付 | 1/4" (標準) | UJR継手 メス | UJR継手 メス | 樹脂材質PTFE | ||
STV30-2WE-30X03G-4UF4UF-N |
要見積もり |
2ポート (入口、出口のみ) |
0.25μm (標準) | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 圧力計付 | 1/4" (標準) | UJR継手 メス | UJR継手 メス | N2O混合ガス | ||
STV30-2WE-30X03G-4UF4UF-A |
要見積もり |
2ポート (入口、出口のみ) |
0.25μm (標準) | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 圧力計付 | 1/4" (標準) | UJR継手 メス | UJR継手 メス | BCl3混合ガス | ||
STV30-2WE-30X03G-4UF4UF-F |
要見積もり |
2ポート (入口、出口のみ) |
0.25μm (標準) | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 圧力計付 | 1/4" (標準) | UJR継手 メス | UJR継手 メス |
Cl2、SiCl4、SiH2Cl2、WF6の いずれかを含むガス |
||
|
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STV30-3WE-30X03G-4UB4UB-T |
要見積もり |
3 ポート (入口、出口、二次側圧力計ポート) |
0.25μm (標準) | -0.1~0.3MPa (0.2MPa) | 圧力計付 | 1/4" (標準) |
UJR継手 UJRメスナット (ピュアリング付) |
UJR継手 UJRメスナット (ピュアリング付) |
樹脂材質PTFE |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
