半導体用圧力調整器 低圧用 小型機種 S-TORRV02シリーズ
日酸TANAKA株式会社
この製品について
■特徴
・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器 をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 ・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、非常に高い水分 置換特性、パーティクル低減を実現しております。 ・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。 高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。 ・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 ・STV02シリーズは本体径Ø35、標準面間70.5mmという非常に小型の圧力調整器で す。 ・小型のアウトレットパネルを設計可能。装置への組み込みにも適しています。 ・腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した SHシリーズをご用意しています。 使用材質■接ガス部
・本体：SUS316L ・ダイヤフラム：Ni-Cr-Mo合金 ・継手：SUS316L ・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂 / Ni-Cr-Mo合金、SUS316L、フッ素樹脂 (STV02SH)■非接ガス部
・キャップ：C3604 ・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604■性能
・入口側最高使用圧：1.0MPa ・出口側最高使用圧：0.7MPa ・最大流量：110L/min (nor) (P1=1.0MPa、P2=0.7MPa、N2GAS) ・使用温度：-5~40°C ・重量：390g (2ポート) ※本製品は2ポート製品のみの製作となります。 ・接ガス金属部面粗さ：Ra0.25μm (オプション:Ra0.1μm) ・出入口ポート口径：1/4" ・外部リーク量：1.3×10-11Pa・m3/sec以下 ※他にも品番がございます。-
シリーズ
半導体用圧力調整器 低圧用 小型機種 S-TORRV02シリーズ
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取扱企業
日酸TANAKA株式会社
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カテゴリ
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半導体用圧力調整器 低圧用 小型機種 S-TORRV02シリーズ 品番10件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 接ガス金属表面粗さ | 二次側最高使用圧力 | 継手種類・形状1 | 継手種類・形状2 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
STV02-2WE-15X06X-4UF4UF-D |
要見積もり | 02.5μm (標準) | ~0.4MPa | 1/4" UJR継手 メスナット | 1/4" UJR継手 メスナット | ||
STV02-2WE-15X06X-4UF4UM-D |
要見積もり | 02.5μm (標準) | ~0.4MPa | 1/4" UJR継手 メスナット | 1/4" UJR継手 オスナット | ||
STV02-2WE-15X06X-4UF4UB-D |
要見積もり | 02.5μm (標準) | ~0.4MPa | 1/4" UJR継手 メスナット | 1/4" UJR継手 UJRメスナット (ピュアリング付) | ||
STV02-2WE-15X06X-4UF4VF-D |
要見積もり | 02.5μm (標準) | ~0.4MPa | 1/4" UJR継手 メスナット | 1/4" VCR継手 メスナット | ||
STV02-2WE-15X06X-4UF4VM-D |
要見積もり | 02.5μm (標準) | ~0.4MPa | 1/4" UJR継手 メスナット | 1/4" VCR継手 オスナット | ||
STV02-2WE-15X06X-4UF4VB-D |
要見積もり | 02.5μm (標準) | ~0.4MPa | 1/4" UJR継手 メスナット | 1/4" VCR継手 UJRメスナット (ピュアリング付) | ||
STV02-2WE-15X06X-4UF4PF-D |
要見積もり | 02.5μm (標準) | ~0.4MPa | 1/4" UJR継手 メスナット | 1/4" UPG継手 メスナット | ||
STV02-2WE-15X06X-4UF4PM-D |
要見積もり | 02.5μm (標準) | ~0.4MPa | 1/4" UJR継手 メスナット | 1/4" UPG継手 オスナット | ||
STV02-2WE-15X06X-4UF4PB-D |
要見積もり | 02.5μm (標準) | ~0.4MPa | 1/4" UJR継手 メスナット | 1/4" UPG継手 UJRメスナット (ピュアリング付) | ||
STV02-2WE-15X06X-4UF4CF-D |
要見積もり | 02.5μm (標準) | ~0.4MPa | 1/4" UJR継手 メスナット | 1/4" CVC継手 メスナット |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
