半導体用圧力調整器低圧用小型機種 S-TORRV02シリーズ
日酸TANAKA株式会社

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この製品について

■特徴・S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器 をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。
・接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、非常に高い水分 置換特性、パーティクル低減を実現しております。
・本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用。 高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心してお使いいただけます。
・Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。
・STV02シリーズは本体径Ø35、標準面間70.5mmという非常に小型の圧力調整器で す。
・小型のアウトレットパネルを設計可能。装置への組み込みにも適しています。
・腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した SHシリーズをご用意しています。

使用材質
■接ガス部・本体：SUS316L
・ダイヤフラム：Ni-Cr-Mo合金
・継手：SUS316L
・その他接ガス部：SUS316L、SUS316、フッ素樹脂 / Ni-Cr-Mo合金、SUS316L、フッ素樹脂 (STV02SH) 

■非接ガス部・キャップ：C3604
・調圧ハンドル：ABS樹脂、C3604

■性能・入口側最高使用圧：1.0MPa
・出口側最高使用圧：0.7MPa
・最大流量：110L/min (nor) (P1=1.0MPa、P2=0.7MPa、N2GAS) 
・使用温度：-5~40°C
・重量：390g (2ポート)  ※本製品は2ポート製品のみの製作となります。
・接ガス金属部面粗さ：Ra0.25μm (オプション:Ra0.1μm) 
・出入口ポート口径：1/4"
・外部リーク量：1.3×10-11Pa・m3/sec以下

※他にも品番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
半導体用圧力調整器低圧用小型機種 S-TORRV02シリーズ

取扱企業
日酸TANAKA株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

圧力調整器

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半導体用圧力調整器低圧用小型機種 S-TORRV02シリーズ品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	接ガス金属表面粗さ	二次側最高使用圧力	継手種類・形状1	継手種類・形状2 1/4" UJR継手メスナット 1/4" UJR継手オスナット 1/4" UJR継手 UJRメスナット (ピュアリング付) 1/4" VCR継手メスナット 1/4" VCR継手オスナット 1/4" VCR継手 UJRメスナット (ピュアリング付) 1/4" UPG継手メスナット 1/4" UPG継手オスナット 1/4" UPG継手 UJRメスナット (ピュアリング付) 1/4" CVC継手メスナット
STV02-2WE-15X06X-4UF4UF-D	要見積もり	02.5μm (標準)	~0.4MPa	1/4" UJR継手メスナット	1/4" UJR継手メスナット
STV02-2WE-15X06X-4UF4UM-D	要見積もり	02.5μm (標準)	~0.4MPa	1/4" UJR継手メスナット	1/4" UJR継手オスナット
STV02-2WE-15X06X-4UF4UB-D	要見積もり	02.5μm (標準)	~0.4MPa	1/4" UJR継手メスナット	1/4" UJR継手 UJRメスナット (ピュアリング付)
STV02-2WE-15X06X-4UF4VF-D	要見積もり	02.5μm (標準)	~0.4MPa	1/4" UJR継手メスナット	1/4" VCR継手メスナット
STV02-2WE-15X06X-4UF4VM-D	要見積もり	02.5μm (標準)	~0.4MPa	1/4" UJR継手メスナット	1/4" VCR継手オスナット
STV02-2WE-15X06X-4UF4VB-D	要見積もり	02.5μm (標準)	~0.4MPa	1/4" UJR継手メスナット	1/4" VCR継手 UJRメスナット (ピュアリング付)
STV02-2WE-15X06X-4UF4PF-D	要見積もり	02.5μm (標準)	~0.4MPa	1/4" UJR継手メスナット	1/4" UPG継手メスナット
STV02-2WE-15X06X-4UF4PM-D	要見積もり	02.5μm (標準)	~0.4MPa	1/4" UJR継手メスナット	1/4" UPG継手オスナット
STV02-2WE-15X06X-4UF4PB-D	要見積もり	02.5μm (標準)	~0.4MPa	1/4" UJR継手メスナット	1/4" UPG継手 UJRメスナット (ピュアリング付)
STV02-2WE-15X06X-4UF4CF-D	要見積もり	02.5μm (標準)	~0.4MPa	1/4" UJR継手メスナット	1/4" CVC継手メスナット