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フォトリソ加工-フォトリソ加工
フォトリソ加工-株式会社 ANOVA

フォトリソ加工
株式会社 ANOVA



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この製品について

写真現像技術を応用した、微細パターン作成技術です。 工程フロー 1.前洗浄 WET枚葉式洗浄機で基板表面の異物や汚れを除去します。 2.スリットコート→スピンコート 基板に感光性樹脂材料 (レジスト) を塗布します。 3.プリべーク 露光、現像前の仮乾燥を行います。 4.露光→現像 パターンマスクを使用して、UV光でレジストを感光させます。露光後、現像で余分なレジストを除去します。 ・ネガ型:感光部がパターンとして残る。 ・ポジ型:感光部が現像で溶ける。 5.ポストべーク パターン形成後、レジストを焼き固めます。 (本焼成)

  • シリーズ

    フォトリソ加工

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フォトリソ加工 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) コーター装置 露光機 レジスト種類
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フォトリソ加工

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スリット&スピンコーター、スピンレスコーター

プロキシミティ一括露光、高圧水銀ランプ(ghi線)

各種ネジ型レジスト、ポジ型レジスト※微細パターン加工が可能

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

各種金属成膜からフォトリソ/エッチング、個片カット、検査、出荷まで、一貫生産を実現!ワンストップ・サービスを提供するメーカーです。

株式会社ANOVAでは、主にタッチパネル用センサー基板、有機EL基板、...

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  • 本社所在地: 青森県
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