フォトリソ加工
株式会社 ANOVA

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この製品について

写真現像技術を応用した、微細パターン作成技術です。


工程フロー
1.前洗浄
WET枚葉式洗浄機で基板表面の異物や汚れを除去します。

2.スリットコート→スピンコート
基板に感光性樹脂材料  (レジスト)  を塗布します。

3.プリべーク
露光、現像前の仮乾燥を行います。

4.露光→現像
パターンマスクを使用して、UV光でレジストを感光させます。露光後、現像で余分なレジストを除去します。
・ネガ型：感光部がパターンとして残る。
・ポジ型：感光部が現像で溶ける。

5.ポストべーク
パターン形成後、レジストを焼き固めます。  (本焼成)  

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
フォトリソ加工

取扱企業
株式会社 ANOVA

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フォトリソ加工品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	コーター装置	露光機	レジスト種類
	フォトリソ加工	要見積もり	スリット&スピンコーター、スピンレスコーター	プロキシミティ一括露光、高圧水銀ランプ(ghi線)	各種ネジ型レジスト、ポジ型レジスト※微細パターン加工が可能