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シャッター機構 ビューポートシャッター-VPS38
シャッター機構 ビューポートシャッター-北野精機株式会社

シャッター機構 ビューポートシャッター
北野精機株式会社

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■特徴

・シャッター駆動部にはマグネット式の回転導入機が取り付けられています ・サイズは、ICF-70・114・152・203となります ・真空容器内の蒸着物等に対するビューイングポート用の保護シャッターです ・RHEED、光、ビーム等のカットにも応用できます ・バタフライ方式のフルオープンタイプなので、視界は広範囲です ・各種ビューイングポートに対応可能です ・フリクションコントロール機能により、任意のオープン角度の設定が可能です ・250℃でのベーキングが可能です ・オプションで圧空作動も可能です

  • シリーズ

    シャッター機構 ビューポートシャッター

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シャッター機構 ビューポートシャッター 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 許容リーク量 許容加熱温度 接続フランジサイズ 駆動方式
シャッター機構 ビューポートシャッター-品番-VPS38

VPS38

要見積もり

≦1.33×10^-11 (Pa・m3/sec)

≦250 (℃)

ICF70 (スルー)

マグネティックカップリング回転導入機

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  • 本社所在地: 東京都
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