シャッター機構ビューポートシャッター
北野精機株式会社

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この製品について

■特徴・シャッター駆動部にはマグネット式の回転導入機が取り付けられています
・サイズは、ICF-70・114・152・203となります
・真空容器内の蒸着物等に対するビューイングポート用の保護シャッターです
・RHEED、光、ビーム等のカットにも応用できます
・バタフライ方式のフルオープンタイプなので、視界は広範囲です
・各種ビューイングポートに対応可能です
・フリクションコントロール機能により、任意のオープン角度の設定が可能です
・250℃でのベーキングが可能です
・オプションで圧空作動も可能です